日本MIKASA米卡萨旋转涂布机MS-B150刷涂机刮涂机涂膜机，热卖款！塔玛萨崎电子（苏州）有限公司中国代理店

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日本MIKASA米卡萨 MS-B150 ：φ6英寸晶圆，兼容100×100mm板
光刻.com处理旋涂机、掩模对准机和实验室机器，用于开发和蚀刻研究。
我们还处理各种测量机，用于薄膜厚度测量，步差，线宽和形状测量。

产品规格：

*大电路板尺寸	φ6英寸晶圆或100×100mm基板
速度（转/分）	20~7，000
旋转精度	±1转/分（负载时）
发动机	交流伺服电机
盖	丙烯酸
旋转室直径	φ290毫米
步进模式数	100 步× 10 种模式
时间设置	999.9秒
**联锁	真空标准 盖可选
滴水装置	选择
使用的真空压力	-0.08~-0.1兆帕
权力	交流100~240V 5A
外部尺寸（毫米）	352W×303H×432D
重量	16公斤

支持选项：

<定制类型>		<兼容型号>
・自动滴水装置（气动型）	1 臂	○
	2 臂	○
・自动滴水装置（支架式）		○
・漱边		○
・背部冲洗		○
・排气管		○
・废液排放		○
・邻苯二甲酰亚胺开关		○
・特氟龙涂层		○
・增加电机余热风扇		○
・急停开关		○
・大功率电机

薄膜厚度分布数据

使用的型号	MS-B150
抵抗	OFPR-800LB （东京大鹿）
电路板尺寸	φ6英寸硅片
目标膜厚度	1微米
薄膜厚度分布	±0.6%

兼容型号：MS-B150

●支持的电路板尺寸	●样品架材料	●应用实例
10毫米	铝	硅胶、玻璃等
20毫米	铝	硅胶、玻璃等
50毫米	铝	硅胶、玻璃等
50毫米	德尔林	硅、玻璃、化合物等
100毫米	铝	硅胶、玻璃等
100毫米	德尔林	硅、玻璃、化合物等
100毫米	聚四氟乙烯	硅胶、玻璃等
100毫米	聚四氟乙烯	硅、玻璃、化合物等
150毫米	德尔林	硅等