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  • RIE-200C 是一种盒式设备,用于大规模生产,基于 RIE-10NR 的经验,该设备具有丰富的平行平板 RIE 设备交付记录。
  • RIE-200NL 是一种负载锁定设备,基于 RIE-10NR 的经验,该设备具有丰富的平行平板 RIE 设备交付记录。
  • RIE-10NR 是一种平行平板反应离子蚀刻 (RIE)设备,用于各向异性加工各种硅薄膜,如 Si、Poly-Si、SiO_和 SiN。
  • RIE-230iP 是一种负载锁定 ICP 蚀刻设备,采用电感耦合等离子体(工业层压 Plasma)作为放电形式,旨在高速加工各种材料的超精细。
  • RIE-400iP 是 Max.4“ 晶圆的负载锁定蚀刻设备,用于各种半导体膜和绝缘膜的高精度、高均匀性。
  • 高密度等离子蚀刻装置,采用电感耦合等离子体(工业塑料广场)作为放电形式。 该设备具有负载锁室,具有出色的工艺可重复性和稳定性。
  • RIE-350iPC 是一种 ICP 蚀刻设备,用于化合物半导体工艺的多片同时处理,在放电形式中采用电感耦合等离子体( 工业堆叠 Plasma)
  • 高密度等离子蚀刻装置,采用电感耦合等离子体(工业塑料广场)作为放电形式。 无负载锁室的设备配置可实现低成本和节省空间,同时配备 2 个盒式磁带。
  • 高密度等离子蚀刻装置,采用电感耦合等离子体(工业塑料广场)作为放电形式。 该装置是一种全 面生产设备,具有真空盒室,具有优异的工艺可重复性和稳定性。 它成为直径为 ±4 英寸的晶圆专用设备,可以安装在节省空间的地方。
  • 高密度等离子蚀刻装置,采用电感耦合等离子体(工业塑料广场)作为放电形式。 该装置是一种全 面生产设备,具有真空盒室,具有优异的工艺可重复性和稳定性。
  • 高密度等离子蚀刻装置,采用电感耦合等离子体(工业塑料广场)作为放电形式。 该装置具有两个反应室,提高了区域生产率,是一种具有出色工艺再现性和稳定性的正宗生产设备。
  • PD-100ST 是一种低温、高速等离子CVD设备,用于通过 TEOS 形成氧化硅膜 (SiO+),用于液体材料。
  • PD-330STC 是一种用于形成绝缘膜的等离子 CVD 设备,专为 TSV(Si 通孔)开发。
  • PD-270STLC 是一种低温、高速等离子 CVD 设备,用于通过 TEOS 形成氧化硅膜 (SiO+),用于液体材料。
  • PD-200STL 是一种高速等离子CVD设备,用于通过液体源形成氧化硅 (SiO2) 膜和氮化硅 (SiN) 膜。
  • 小直径晶片多片处理用等离子体CVD装置
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苏公网安备 32050502000409号