AMAYA天谷制作所|塔玛萨崎电子（苏州）有限公司

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国内直销AMAYA天谷制作所MOCVD 设备; Doctor-TTM

AMAYA天谷制作所MOCVD 气相沉积设备; Doctor-TTM • 8 英寸晶圆兼容 • 可沉积金属氧化膜、金属氮化膜等 • 采用砖利无氯气化器 • 拥有 4 种 MO 材料线 • 单室/双腔室可选
国内销售AMAYA天谷制作所玻璃基板成膜装置

● 低温（150~300°C）处理 ● 形成高品质的SiO2膜低应力、无等离子体损伤、小颗粒 • 降低导入和维护成本小占地面积、无需真空 · 等离子体处理 ● 价格低廉气相沉积设备
AMAYA天谷制作所高性能单片式常压CVD装置A200V

气相沉积设备 ● ±2%以内的膜厚均匀性 ● 低温工艺对应 ● 抑制颗粒产生 ● 提高维护性 ● 紧凑的装置结构 ● 提高 **性 ● 良好的台阶覆盖性
代理AMAYA天谷制作所高生产率连续常压CVD设备 AMAX800V

● 8英寸/小时100张高通量 ●采用SiC托盘，可应对重金属污染，实现长期稳定工艺 ●提高维护性气相沉积设备
日本AMAYA天谷制作所12 英寸连续常压CVD设备AMAX1200

●12英寸~56张/时的吞吐量 ●采用SiC托盘的重金属污染对策
代理AMAYA天谷制作所连续常压 CVD设备A6300S

AMAYA天谷制作所连续常压 CVD设备A6300S ●6英寸~120张/小时吞吐量 ●采用SiC托盘的重金属污染对策气相沉积设备
AMAYA天谷制作所太阳能电池批量生产用AMAX1000S

156mm 方形/小时 1500 张吞吐量 • 通过采用 SiC 托盘解决重金属污染问题，以及通过改进托盘支架进行背面旋转措施气相沉积设备
AMAYA天谷制作所小型生产和开发的常压 CVD 设备 D501

• 批量常压 CVD 设备，用于在大型托盘中装载多个晶圆气相沉积设备