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ULVAC爱发科半导体真空泵株式会社

日期：2025-04-30 23:47
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摘要：ULVAC爱发科半导体真空泵株式会社:油式旋片真空泵、罗茨泵、干式真空泵及活塞泵 ,ULVAC爱发科油式旋片真空泵、ULVAC爱发科罗茨泵、ULVAC爱发科干式真空泵及活塞泵.

ULVAC爱发科半导体真空泵株式会社


株式会社ULVAC（ULVAC），是1952年由日本生命保险公司、松下电器产业股份有限公司等6家公司共同投资建立。真空设备产品主要含油式旋片真空泵、罗茨泵、干式真空泵及活塞泵等，应用领域有平板显示器，半导体，电子零部件，太阳能电池，汽车，医疗，食品等多个行业。



因进口真空泵价格昂贵，返厂维修时间长且价格高等原因，再加上国内真空技术发展迅速，众多客户转而使用国产真空泵替代进口真空泵，或使用进口真空泵但在国内维修。自2003年创办东莞大路通起，公司即承接各式进口真空泵维修,如:英国爱德华(Edwards)、德国普旭(Busch)、法国阿尔卡特(Alcatel)、德国莱宝(Leybold)、德国里其乐(Rietschle)、德国贝克(Becker)、日本爱发科(Ulvac)、日本荏原(EBARA)、日本卡西亚玛(Kashiyama)等。维修**专业，价格优惠，维修后专业检测，维修产品质量有保证。




ULVAC爱发科集团是一家以在各领域获得广泛应用的真空技术为基础，以开创精细加工工艺为追求的研究开发型综合企业集团。

长期以来，作为追求真空极限（Ultimate in Vacuum）的真空技术先驱，我们以电子技术以及信息通信技术为引导，以设备生产为中心，在能源、环保、运输、医药、食品、化工、生物工程等广阔的领域，提供先进的真空技术产品。

特别是在半导体制造设备以及平面显示器等制造设备方面，我们提供制造工艺中不可或缺的产品群。另外在技术开发方面，除了设备以外,还涵盖到材料、分析评价以及售后服务等不同领域，并积极开展爱发科**解决方案。因此，为了提高客户的满意度，网罗世界专门企业的爱发科集团正力图提供不同的综合**解决方案。

展望21世纪的技术蓝图，ULVAC爱发科集团将次世代能源、精细化工技术、精密机械电子技术以及生物工程技术进行复合，进一步扩大了技术应用的宽度和深度，同时推进爱发科解决方案的精细化和高度化。另外，为了对应全球化的产业结构变化，我们将进一步巩固以解决客户课题为使命的研究开发型企业的地位。

ULVAC爱发科半导体真空泵株式会社
ULVAC爱发科集团，是面向各个行业广泛提供各种综合性真空设备、真空仪器、材料、分析设备，为解决客户难题，提升客户企业价值，提供多种多样的解决方案的企业集团。

在爱发科ULVAC集团中，Components Business Unit是负责开发、制造、销售构成综合性真空设备多种多样的真空配套产品的企业团体。真空设备的性能，是由追求***的真空技术的各种真空配套机器来支撑的。

ULVAC爱发科半导体真空泵株式会社主要产品有：
真空泵(低・中真空)
ULVAC爱发科真空泵(高真空)
真空计
气体分析仪（工艺气体监测仪
ULVAC爱发科检漏仪
高速光谱椭偏仪
ULVAC爱发科水晶振荡式成膜控制器
真空阀
ULVAC爱发科DC电源
DC脉冲电源
MF电源

ULVAC爱发科真空泵干泵GR系列是以获得良好业绩和信赖的LR/HR系列为基础设计的，面向一般产业设计的简单结构的泵。
LS系列真空泵被归为螺杆型干式真空泵。以往要提高排气速度就要消耗大量电能，我们通过**的螺杆形状和节电技术的融合，使该系列产品成为兼顾高速排气和低功耗的干式真空泵。
爱发科ULVAC真空泵HR/UR 系列
干泵HR/UR系列，根据独有的高温均热化技术，有效利用压缩热，实现了在CVD，蚀刻等硬工艺中的高耐久性。在轻工艺中，与ECO-SHOCK的组合*多可节省约88%的电力。另外，提高了维护性和降低了噪音，全部型号CE对应可能（可选）。
EB枪・EB电源
真空搬送机器人
分子间相互作用定量QCM设备
微量精密搅拌器
小型蒸发设备
低温设备(CRYO)
热处理・热物性评估装置
ULVAC爱发科真空泵干泵CR系列VerB是获得国际标准（CE,cTUVus）的空冷式罗茨型干泵。排气室内不使用真空油，因转子和汽缸是不接触的，可长时间稳定运转。
DIS-501
ULVAC爱发科半导体真空泵株式会社:
•双绕式涡旋泵、含1根轨道螺旋和2根固定螺旋。
•可在大气压下实现操作运行。
•可实现高极限真空。
•低振动低噪音。
•维护周期可通过计时表控制。
                                              ULVAC爱发科半导体真空泵株式会社
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