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  • ■ 手动操作、接触式对准曝光机。 ■ 依照不同需求以及成本考量・有准直仪型・多面镜型・整合(积算器)型三种曝光光源。 ■ 有可对应5×5mm~100×100mm以及1 inch~6 inch的基板的各类机种。 ■ Mask Holder・载台的更换作业简单易行,可在1分钟内完成,适合用于研究开发。 ■ 对准显微镜的对物镜可对应高对准精度或厚膜等用途,并且有4×、10×、20×三种。
  • ■ 特点 ■ 手动操作、接触式对准曝光机。 ■ 依照不同需求以及成本考量・有准直仪型・多面镜型・整合(积算器)型三种曝光光源。 ■ 有可对应5×5mm~100×100mm以及1 inch~6 inch的基板的各类机种。 ■ Mask Holder・载台的更换作业简单易行,可在1分钟内完成,适合用于研究开发。 ■ 对准显微镜的对物镜可对应高对准精度或厚膜等用途,并且有4×、10×、20×三种。

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