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加热器
マイクロケーブルエアーヒーターは、マイクロヒーターを特殊な形状に加工して、SUSのパイプに挿入し組み込んだ製品で、空気・窒素ガス等を加熱するのに很適です。
この製品は半導体製造分野をはじめとして、各産業分野で使用されています。
特長
-
MCA500N
-
MCA1000N
-
MCA1500N
-
MCA3P3000N
-
MCA3P5000N
MCA500N
形状

標準仕様
型番
MCA500N
定格
200V 500W
絶縁抵抗
DC500V 5MΩ以上
絶縁耐圧
AC400V/1分間 検出電流10mA
高使用温度
500℃(内蔵熱電対にて)
使用気体圧力
0.3MPa(3kgf/cm²)まで可能
材質
SUS316製(ヒーターシース・シース熱電対)、SUS304製(筐体)
被加熱物
空気、不活性ガス等
流量
20NL/min~100NL/min
吹出先先端部温度
温度特性グラフ参照
出入口継手
PT3/8
ヒーターリード線
500mm(切りっぱなし)
熱電対
K タイプ(接地型)、補償導線2000mm(M4用Y端子付き)
※規格品以外にもご使用用途に合わせて製作いたします。
温度特性
※AC200V 定格、内蔵熱電対にて500℃制御した場合の吹出温度です。
※吹出口に熱電対固定ソケットを取付けて測定した実測データですので参考値となります。
MCA1000N
形状

標準仕様
型番
MCA1000N
定格
200V 1000W
絶縁抵抗
DC500V 5MΩ以上
絶縁耐圧
AC400V/1分間 検出電流10mA
高使用温度
500℃(内蔵熱電対にて)
使用気体圧力
0.3MPa(3kgf/cm²)まで可能
材質
SUS316製(ヒーターシース・シース熱電対)、SUS304製(筐体)
被加熱物
空気、不活性ガス等
流量
60NL/min ~ 500NL/min
吹出先先端部温度
温度特性グラフ参照
出入口継手
PT3/4
ヒーターリード線
500mm(切りっぱなし)
熱電対
K タイプ(接地型)、補償導線2000mm(M4用Y端子付き)
※規格品以外にもご使用用途に合わせて製作いたします。
温度特性
※AC200V 定格、内蔵熱電対にて500℃制御した場合の吹出温度です。
※吹出口に熱電対固定ソケットを取付けて測定した実測データですので参考値となります。
MCA1500N
形状

標準仕様
型番
MCA1500N
定格
200V 1500W
絶縁抵抗
DC500V 5MΩ以上
絶縁耐圧
AC400V/1分間 検出電流10mA
高使用温度
500℃(内蔵熱電対にて)
使用気体圧力
0.3MPa(3kgf/cm²)まで可能
材質
SUS316製(ヒーターシース・シース熱電対)、SUS304製(筐体)
被加熱物
空気、不活性ガス等
流量
60NL/min ~ 500NL/min
吹出先先端部温度
温度特性グラフ参照
出入口継手
PT3/4
ヒーターリード線
500mm(切りっぱなし)
熱電対
K タイプ(接地型)、補償導線2000mm(M4用Y端子付き)
※規格品以外にもご使用用途に合わせて製作いたします。
温度特性
※AC200V 定格、内蔵熱電対にて500℃制御した場合の吹出温度です。
※吹出口に熱電対固定ソケットを取付けて測定した実測データですので参考値となります。
MCA3P3000N
形状

標準仕様
型番
MCA3P3000N
定格
三相 200V 3000W
絶縁抵抗
DC500V 5MΩ以上
絶縁耐圧
AC400V/1分間 検出電流10mA
高使用温度
500℃(内蔵熱電対にて)
使用気体圧力
0.3MPa(3kgf/cm²)まで可能
材質
SUS316製(ヒーターシース・シース熱電対)、SUS304製(筐体)
被加熱物
空気、不活性ガス等
流量
100NL/min ~ 1000NL/min
吹出先先端部温度
温度特性グラフ参照
出入口継手
PT1
ヒーターリード線
500mm(切りっぱなし)
熱電対
K タイプ(接地型)、補償導線2000mm(M4用Y端子付き)
※規格品以外にもご使用用途に合わせて製作いたします。
温度特性
※AC200V 定格、内蔵熱電対にて500℃制御した場合の吹出温度です。
※吹出口に熱電対固定ソケットを取付けて測定した実測データですので参考値となります。
MCA3P5000N
形状

標準仕様
型番
MCA3P5000N
定格
三相 200V 5000W
絶縁抵抗
DC500V 5MΩ以上
絶縁耐圧
AC400V/1分間 検出電流10mA
高使用温度
500℃(内蔵熱電対にて)
使用気体圧力
0.3MPa(3kgf/cm²)まで可能
材質
SUS316製(ヒーターシース・シース熱電対)、SUS304製(筐体)
被加熱物
空気、不活性ガス等
流量
200NL/min ~ 1500NL/min
吹出先先端部温度
温度特性グラフ参照
出入口継手
PT1
ヒーターリード線
500mm(切りっぱなし)
熱電対
K タイプ(接地型)、補償導線2000mm(M4用Y端子付き)
※規格品以外にもご使用用途に合わせて製作いたします。
温度特性
※AC200V 定格、内蔵熱電対にて500℃制御した場合の吹出温度です。
※吹出口に熱電対固定ソケットを取付けて測定した実測データですので参考値となります。
マイクロケーブルエアーヒーターは、マイクロヒーターを特殊な形状に加工して、SUSのパイプに挿入し組み込んだ製品で、空気・窒素ガス等を加熱するのに很適です。
この製品は半導体製造分野をはじめとして、各産業分野で使用されています。
特長
-
MCA500N
-
MCA1000N
-
MCA1500N
-
MCA3P3000N
-
MCA3P5000N
MCA500N
形状
標準仕様
型番 | MCA500N |
---|---|
定格 | 200V 500W |
絶縁抵抗 | DC500V 5MΩ以上 |
絶縁耐圧 | AC400V/1分間 検出電流10mA |
高使用温度 | 500℃(内蔵熱電対にて) |
使用気体圧力 | 0.3MPa(3kgf/cm²)まで可能 |
材質 | SUS316製(ヒーターシース・シース熱電対)、SUS304製(筐体) |
被加熱物 | 空気、不活性ガス等 |
流量 | 20NL/min~100NL/min |
吹出先先端部温度 | 温度特性グラフ参照 |
出入口継手 | PT3/8 |
ヒーターリード線 | 500mm(切りっぱなし) |
熱電対 | K タイプ(接地型)、補償導線2000mm(M4用Y端子付き) |
※規格品以外にもご使用用途に合わせて製作いたします。
温度特性
※AC200V 定格、内蔵熱電対にて500℃制御した場合の吹出温度です。
※吹出口に熱電対固定ソケットを取付けて測定した実測データですので参考値となります。
MCA1000N
形状
標準仕様
型番 | MCA1000N |
---|---|
定格 | 200V 1000W |
絶縁抵抗 | DC500V 5MΩ以上 |
絶縁耐圧 | AC400V/1分間 検出電流10mA |
高使用温度 | 500℃(内蔵熱電対にて) |
使用気体圧力 | 0.3MPa(3kgf/cm²)まで可能 |
材質 | SUS316製(ヒーターシース・シース熱電対)、SUS304製(筐体) |
被加熱物 | 空気、不活性ガス等 |
流量 | 60NL/min ~ 500NL/min |
吹出先先端部温度 | 温度特性グラフ参照 |
出入口継手 | PT3/4 |
ヒーターリード線 | 500mm(切りっぱなし) |
熱電対 | K タイプ(接地型)、補償導線2000mm(M4用Y端子付き) |
※規格品以外にもご使用用途に合わせて製作いたします。
温度特性
※AC200V 定格、内蔵熱電対にて500℃制御した場合の吹出温度です。
※吹出口に熱電対固定ソケットを取付けて測定した実測データですので参考値となります。
MCA1500N
形状
標準仕様
型番 | MCA1500N |
---|---|
定格 | 200V 1500W |
絶縁抵抗 | DC500V 5MΩ以上 |
絶縁耐圧 | AC400V/1分間 検出電流10mA |
高使用温度 | 500℃(内蔵熱電対にて) |
使用気体圧力 | 0.3MPa(3kgf/cm²)まで可能 |
材質 | SUS316製(ヒーターシース・シース熱電対)、SUS304製(筐体) |
被加熱物 | 空気、不活性ガス等 |
流量 | 60NL/min ~ 500NL/min |
吹出先先端部温度 | 温度特性グラフ参照 |
出入口継手 | PT3/4 |
ヒーターリード線 | 500mm(切りっぱなし) |
熱電対 | K タイプ(接地型)、補償導線2000mm(M4用Y端子付き) |
※規格品以外にもご使用用途に合わせて製作いたします。
温度特性
※AC200V 定格、内蔵熱電対にて500℃制御した場合の吹出温度です。
※吹出口に熱電対固定ソケットを取付けて測定した実測データですので参考値となります。
MCA3P3000N
形状
標準仕様
型番 | MCA3P3000N |
---|---|
定格 | 三相 200V 3000W |
絶縁抵抗 | DC500V 5MΩ以上 |
絶縁耐圧 | AC400V/1分間 検出電流10mA |
高使用温度 | 500℃(内蔵熱電対にて) |
使用気体圧力 | 0.3MPa(3kgf/cm²)まで可能 |
材質 | SUS316製(ヒーターシース・シース熱電対)、SUS304製(筐体) |
被加熱物 | 空気、不活性ガス等 |
流量 | 100NL/min ~ 1000NL/min |
吹出先先端部温度 | 温度特性グラフ参照 |
出入口継手 | PT1 |
ヒーターリード線 | 500mm(切りっぱなし) |
熱電対 | K タイプ(接地型)、補償導線2000mm(M4用Y端子付き) |
※規格品以外にもご使用用途に合わせて製作いたします。
温度特性
※AC200V 定格、内蔵熱電対にて500℃制御した場合の吹出温度です。
※吹出口に熱電対固定ソケットを取付けて測定した実測データですので参考値となります。
MCA3P5000N
形状
標準仕様
型番 | MCA3P5000N |
---|---|
定格 | 三相 200V 5000W |
絶縁抵抗 | DC500V 5MΩ以上 |
絶縁耐圧 | AC400V/1分間 検出電流10mA |
高使用温度 | 500℃(内蔵熱電対にて) |
使用気体圧力 | 0.3MPa(3kgf/cm²)まで可能 |
材質 | SUS316製(ヒーターシース・シース熱電対)、SUS304製(筐体) |
被加熱物 | 空気、不活性ガス等 |
流量 | 200NL/min ~ 1500NL/min |
吹出先先端部温度 | 温度特性グラフ参照 |
出入口継手 | PT1 |
ヒーターリード線 | 500mm(切りっぱなし) |
熱電対 | K タイプ(接地型)、補償導線2000mm(M4用Y端子付き) |
※規格品以外にもご使用用途に合わせて製作いたします。
温度特性
※AC200V 定格、内蔵熱電対にて500℃制御した場合の吹出温度です。
※吹出口に熱電対固定ソケットを取付けて測定した実測データですので参考値となります。