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  • 产品名称：日本大冢膜厚量测仪FE-300

  • 产品型号： FE-300
  • 产品厂商：OTSUKA大塚电子
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简单介绍：
日本大冢膜厚量测仪FE-300 日本大冢膜厚量测仪FE-300 日本大冢膜厚量测仪FE-300
详情介绍：

膜厚量测仪　FE-300

膜厚量测仪 FE-300


产品信息

特　长

薄膜到厚膜的测量范围、UV~NIR光谱分析

高性能的低价光学薄膜量测仪

藉由**反射率光谱分析膜厚

完整继承FE-3000**机种90%的强大功能

无复杂设定，操作简单，短時間內即可上手

线性*小平方法解析光学常数（n:折射率、k:消光系数）

测量项目

  • **反射率测量

  • 膜厚解析（10层）

  • 光学常数解析（n：折射率、k：消光系数）

产品规格

样品尺寸

*大8寸晶圆（厚度5mm）

测量时间

0.1s ~ 10s以內

量测口径

约φ3mm

通讯界面

USB

尺寸重量

280（W）× 570（D）×350（H）mm，约24kg

软体功能

标准功能

波峰波谷解析、FFT解析、*适化法解析、*小二乘法解析

选配功能

材料分析软件、薄膜模型解析、标准片解析

※1 请于本公公司联系联系我们
※2 对比VLSI标准样品（100nm SiO2/Si），范围值同保证书所记载
※3 测量VLSI标准样品（100nm SiO2/Si）同一点位时之重复再现性。（扩充系数2.1）

应用范围

半导体晶圆膜（光阻、SOI、SiO2等）
光学薄膜（OC膜、AR膜、ITO、IZO膜等）

测量范例

  • PET基板上的DLC膜

    • item_0005FE-300_sub001.gif

  • Si基板上的SiNx

    item_0005FE-300_sub002.gif
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