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  • 产品名称：OPTM显微分光膜厚仪_OPTM-A1_Otsuka大塚

  • 产品型号： OPTM-A1
  • 产品厂商：OTSUKA大塚电子
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简单介绍：
头部集成了薄膜厚度测量所需功能 通过显微光谱法测量高精度**反射率（多层膜厚度，光学常数） 1点1秒高速测量 显微分光下广范围的光学系统（紫外至近红外） 区域传感器的**机制 易于分析向导，初学者也能够进行光学常数分析 独立测量头对应各种inline客制化需求 支持各种自定义 OPTM显微分光膜厚仪_OPTM-A1_Otsuka大塚 OPTM显微分光膜厚仪_OPTM-A1_Otsuka大塚 OPTM显微分光膜厚仪_OPTM-A1_Otsuka大塚
详情介绍：


显微分光膜厚仪OPTM series


显微分光膜厚仪OPTM series


















特点


头部集成了薄膜厚度测量所需功能
通过显微光谱法测量高精度**反射率（多层膜厚度，光学常数）
1点1秒高速测量
显微分光下广范围的光学系统（紫外至近红外）
区域传感器的**机制
易于分析向导，初学者也能够进行光学常数分析
独立测量头对应各种inline客制化需求
支持各种自定义



使用显微光谱法在微小区域内通过**反射率进行测量，可进行高精度膜厚度/光学常数分析。可通过非破坏性和非接触方式测量涂膜的厚度，例如各种膜、晶片、光学材料和多层膜。 测量时间上，能达到1秒/点的高速测量，并且搭载了即使是初次使用的用户，也可容易出分析光学常数的软件



OPTM-A1 OPTM-A2 OPTM-A3
波長范围 230 ~ 800 nm 360 ~ 1100 nm 900 ~ 1600 nm
膜厚范围 1nm ~ 35μm 7nm ~ 49μm 16nm ~ 92μm
测定时间 1秒 / 1点
光斑大小 10μm (*小约5μm)
感光元件 CCD InGaAs
光源規格 氘灯+卤素灯   卤素灯
电源規格 AC100V±10V 750VA（自动样品台规格）
尺寸 555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自动样品台规格之主体部分)
重量 约 55kg（自动样品台规格之主体部分）


*目前苏州地区有样机可供测试

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