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  • 产品名称：苏州塔玛萨崎TSUBOSAKA壶坂UVL-2

  • 产品型号：
  • 产品厂商：TSUBOSAKA壶坂
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简单介绍：
光刻工艺中的简单曝光印刷设备 桌面型和一体型，节省空间 通过安装微型计算机精 确控制照射时间
详情介绍：
型式 UVL-2
光源 超高压汞灯
放射照度[mW/㎠] 20
光束 100 x 100（有效 80 x 80）
照度不均[±%] 8
曝光时间 0.5 - 99.9
样品架 固定式・平面微调机构付き
样品尺寸 [mm x mm] 100×100
面罩尺寸 [mm x mm] 70×70
试料固定 塞子对接方法
通讯I/F RS-232C
电源电压 AC100V 50/60Hz
消费电力[VA] 700
动作环境 ・ 温度：5-35 [℃]
・ 湿度：80 [%] 或更低但是，不结露
尺寸 (WxHxD) [mm] 350 x 790 x 350
重量[kg] 30
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