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  • 产品名称：tsubosaka日本壶坂UVL-2輝度箱

  • 产品型号：
  • 产品厂商：TSUBOSAKA壶坂
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简单介绍：
フォトリソグラフィ工程における簡易露光焼付装置 卓上型・一体型のため省スペース マイコン搭載により、照射時間を正確に制御
详情介绍：
型式 UVL-2
光源 超高圧水銀ランプ
放射照度[mW/㎠] 20
光束 100 x 100 (有効80 x 80)
照度ムラ[± %] 8
露光時間 0.5 - 99.9
試料台 固定式・平面微調機構付き
試料サイズ[mm x mm] 100 x 100
マスクサイズ[mm x mm] 70 x 70
試料固定 ストッパー突き当て方式
通信I/F RS-232C
電源電圧 AC100V　50/60Hz
消費電力[VA] 700
動作環境 ・温度 : 5 - 35[℃]
・湿度 : 80[％]以下　但し、結露なきこと
寸法(WxHxD)[mm] 350 x 790 x 350
重量[kg] 30
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