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产品详情
简单介绍:
IPA、纯水、化学溶液等半导体制造过程中微区域的流量管理
·从1ml/min开始的微流量测定
·通过数字信号处理进行微流量高精度测定
·传感器部分与流体非接触的结构
· 宽范围能力
详情介绍:
产品规格
■微小液体流量计(传感器分离型)
μLF-300S
类型表达式 | μLF-300S = μLT-8I (1/8 英寸) 或 μLF-300S = μLT-4I (1/4 英寸) |
测量原理 | 超声波传播时差方法 |
测量液体 |
纯水、水溶液、各种化学溶液 * 对于水以外的液体,请事先确认 |
自适应流体温度范围 |
在 15°C 至 80°C * 60°C 或更高温度下使用时,请提前确认 |
流体压力 | 0.5MPa 或更少 |
流体运动粘度 | 100mm^2/秒以下 |
流量范围 |
0 ml/min ~ 1000 ml/min (μLF-300S + μLT-8I) 0 ml/min ~ 1000 ml/min (μLF-300S + μLT-8I) |
测量精度 |
±0.5%RD (1/8 英寸 : 200 至 1000 毫升/分钟条件: 室温, 恒温水) ± 1 毫升/分钟 (1/8 英寸 : 0 至 199 毫升/分钟) ± 0.5% RD (1/4 英寸): 800 至 4000 毫升/分钟 条件: 室温, 恒温水) ± 4 毫升/分钟 (1/4 英寸): 0 至 4 英寸 799ml/min) |
可重复性 | ±0.2%(纯、液温±0.5°C,30秒平均值) |
电源 | DC 24V ±10% |
功耗 | 3.6W 或更少 |
重量 | 转换器 240g,检测单元 70g |
尺寸 WxHxD(毫米) |
转换器 97 x 49 x 127 检测单元 90 x 25 x 20(不包括管) |
检测部 | |
管材 | PFA(氟树脂) |
管径 | 1/8 inch OD: 3.17mm, ID: 2.17mm, 1/4 inch OD: 6.35mm, ID: 4.35mm |
结构 | 相当于IP65 |
随附的电缆 | 5m,连接器连接 |
输入部分 | |
数字输出 | 4 线 RS-422,4 线 RS-485 |
模拟输出 | 4-20mA(瞬时流量),负载电阻 500Ω 或更少 |
累计脉冲输出 | 1ch(开放式收集器) |
报警输出 | 1ch(开放式收集器) |
触点输入 | 1ch ( 零流量设定或累计** ) |
按键输入 | 4 输入按钮 |
■微少液体流量計(一体型)
μLF-300
変換器 | |
型式 | μLF-308I (1/8 inch) または μLF-304I (1/4 inch) |
測定原理 | 超音波伝播時間差方式 |
被測定液体 |
純水、水溶液、各種薬液 * 水以外の液体の場合は事前にご確認ください |
適応流体温度範囲 |
10℃~60℃ * 60℃以上の場合は事前にご確認ください |
環境温度範囲 | 温度:0℃~50℃(結露がないこと) |
流量範囲 |
0 ml/min ~ 1000 ml/min (μLF-308I) 0 ml/min ~ 4000 ml/min (μLF-304I) |
測定精度 |
±1%RD (1/8 inch : 200 ~ 1000ml/min, 室温, 水の場合) ±2ml/min (1/8 inch : 0 ~ 199ml/min) ±1%RD (1/4 inch : 800 ~ 4000ml/min, 室温, 水の場合) ±8ml/min (1/4 inch : 0 ~ 799ml/min) |
繰返し性 | ±0.2% (液温±0.5℃, 30秒平均値) |
応答性 | 10 msec |
構造 | 屋内仕様 (IP65相当) |
電源 | DC 5V ±10% |
消費電力 | 1.5W以下 |
重量 | 350g (本体部のみ) |
检测部 | |
管材 | PFA(氟树脂) |
管径 |
1/8 inch OD: 3.17mm, ID: 2.17mm 1/4 inch OD: 6.35mm, ID: 4.35mm |
输出部分 | |
串行端口 | 4 线 RS-422 |
通信协议 | 数据位 8 位固定,偶数奇偶校验固定,停止位 1 位固定 |
波特率 | 38400 baud |
串行输出内容 | 瞬时流量值、累计流量值、错误代码 |
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