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  • 产品名称：塔玛萨崎Otsuka大塚

  • 产品型号：显微分光膜厚计 OPTM series
  • 产品厂商：OTSUKA大塚电子
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简单介绍：
OPTM（Optim）是一种利用显微分光在微区域进行**反射率测量，可实现高精度薄膜厚度和光学常数分析的装置。 涂层膜的厚度和多层膜（如各种薄膜、晶圆和光学材料）可以无损或非接触式测量。 测量时间可以高速测量 1 秒/点。 此外，它配备了一个软件，即使是初学者可以很容易地分析光学常数。
详情介绍：
从运动图像测量到结果
 
特点
  • 将薄膜厚度测量所需的功能整合到头部
  • 使用显微分光进行高精度**反射率测量（多层厚度、光学常数）
  • 1 点 1 秒以内的高速测量
  • 光学系统，在显微条件下实现宽测量波长范围（紫外至近红外）
  • 带区域传感器的**机制
  • 易于分析的向导，即使是初学者也能进行光学常数分析
  • 具有可自定义测量序列的宏功能
  • 可分析复杂的光学常数（多点分析）
  • 支持 300mm 级
  • 支持各种定制

可根据样品的形状和部位轻松定制测量序列


规格

手势
类型 OPTM-A1 OPTM-A2 OPTM-A3
波长范围 230～800 nm 360～1100 nm 900～1600 nm
薄膜厚度范围*1 1 nm～35 μm 7 nm～49 μm 16 nm～92 μm
样本大小*2 高达 200×200×17 mm
点直径 φ5、φ10、φ20、φ40

* 以上规格与自动XY级。

*1 薄膜厚度范围为 SiO2转换。

*2 关于300毫米级，请联系我们。


 

类型 自动 XY 级类型 固定框架类型 嵌入式头型
尺寸
（W×D×H） 		556×566×618 mm 368×468×491 mm 210×441×474 mm
90×250×190 mm*
重量 66 kg 38 kg 23 kg
4 kg*
*大功耗 AC100V±10V 500VA AC100V±10V 400VA

*交流/直流电源单元

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