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  • 产品名称:塔玛萨崎Otsuka大塚膜厚仪

  • 产品型号:MCPD 系列嵌入式薄膜厚度头
  • 产品厂商:OTSUKA大塚电子
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简单介绍:
我们的 MCPD 系列采用柔性光纤,可集成到从原位到内联的各种位置和应用。 由于测量原理采用光谱干涉系统,因此在实现高测量可重复性的同时,还支持多层厚度测量。 采用专有算法,可实现高速实时监控。
详情介绍:
特点
  • 膜厚测定范围65nm~92μm(SiO2转换)
  • *短曝光时间1ms~ ※根据规格
  • 灵活的光纤光学系统,易于集成到半导体工艺装置中
  • 从顶部进行远程控制
  • *适合在抛光过程中检测薄膜厚度端点

 

基本配置

 

MCPD 嵌入式基本配置

设备嵌入式图像

MCPD 嵌入式图像

测量示例

CMP 流程中实时监控的原位端点检测

对象:布线工序中CMP研磨对象的各种薄膜



规格

MCPD-9800 规格
类型表达式 MCPD-9800
2285C 3095C 3683C 311C 916C
测量波长范围(nm) 220~850 300~950 360~830 360~1100 900~1600
薄膜厚度范围* 65nm~35μm 65nm~50μm 65nm~45μm 65nm~49μm 180nm~92μm
薄膜厚度/反射/透射/延迟
颜色测量 ×
扫描时间 5ms~20s 1ms~10s
点直径 φ1.2mm
纤维长度 1m~ 长度需要咨询

※膜厚值n=1.5换算。 取决于规格

 

MCPD-6800 规格
类型表达式 MCPD-6800
2285C 3095C 3683C 3610C
测量波长范围(nm) 220~850 300~950 360~830 360~1000
薄膜厚度范围* 65nm~35μm 65nm~50μm 65nm~45μm 65nm~49μm
薄膜厚度/反射/透射/延迟/颜色测量
扫描时间 16ms~65s
点直径 φ1.2mm
纤维长度 1m~ 长度需要咨询

※膜厚值n=1.5换算。 取决于规格


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