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  • 产品名称：塔玛萨崎Otsuka大塚测量仪器

  • 产品型号：MCPD 系列在线薄膜评估系统
  • 产品厂商：OTSUKA大塚电子
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简单介绍：
我们的 MCPD 系列内联薄膜评估系统采用光学类型，可在非接触式和无损条件下检测薄膜厚度、浓度和颜色。 可测量薄膜厚度范围为 65nm 至 92μm，从薄膜到厚膜。 （折射率为1.5时） 测量原理为分光干涉方式，在实现高测量再现性的同时，还支持多层厚度测量。 由于采用专有算法可实现高速实时监控，因此我们提出了*适合在线胶片监视器的系统。
详情介绍：
特点
  • 非常适合工艺过程中的薄膜高速测量
  • *短曝光时间1ms~ ※根据规格
  • 支持远程测量
  • 膜厚测定范围65nm~92μm（SiO2转换）
基本配置

MCPD 嵌入式基本配置

多点测量点切换支持系统

在多点测量点切换兼容系统中，通过在TD方向上预先将多分支光纤安装在任意宽度上，可以在不驱动光纤的情况下测量TD方向的薄膜厚度分布。 可用作涂层条件和实时监视器。

探测器和数据处理系统是一种类型，可通过光纤光路切换进行多点测量。

多点测量系统

遍历单元对应系统

在支持遍历单元的系统中，通过在 TD 方向上驱动遍历单元，可以测量 TD 方向上的薄膜厚度分布，范围和间距均相同。 可用作涂层条件和实时监视器。

无需多个探测器或数据处理，即可通过驱动遍历单元进行多点测量。

遍历测量系统

即使在真空环境中也能进行多点反射和透射光谱测量

通过使用适用于各种法兰的耐真空纤维，可以在高真空下测量反射和透射光谱。 此外，薄膜厚度计算不受基膜上下运动的影响，并且通过采用大分电子专有的算法，可以**测量薄膜，可用作实时监视器。

真空


规格

MCPD-9800 规格
类型表达式 MCPD-9800
2285C 3095C 3683C 311C 916C
测量波长范围（nm） 220～850 300～950 360～830 360～1100 900～1600
薄膜厚度范围* 65nm～35μm 65nm～50μm 65nm～45μm 65nm～49μm 180nm～92μm
薄膜厚度/反射/透射/延迟 〇
颜色测量 〇 ×
扫描时间 5ms～20s 1ms～10s
点直径 φ1.2mm
纤维长度 1m~ 长度需要咨询

※膜厚值n=1.5换算。 取决于规格

 

MCPD-6800 规格
类型表达式 MCPD-6800
2285C 3095C 3683C 3610C
测量波长范围（nm） 220～850 300～950 360～830 360～1000
薄膜厚度范围* 65nm～35μm 65nm～50μm 65nm～45μm 65nm～49μm
薄膜厚度/反射/透射/延迟/颜色测量 〇
扫描时间 16ms～65s
点直径 φ1.2mm
纤维长度 1m~ 长度需要咨询

※膜厚值n=1.5换算。 取决于规格

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