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  • 产品名称：塔玛萨崎TSUBOSAKA壶坂紫外线曝光装置

  • 产品型号：紫外线曝光装置 UVL-3
  • 产品厂商：TSUBOSAKA壶坂
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简单介绍：
光刻工序中简易曝光烧结装置 桌面型、一体型，节省空间 配备彩色 LCD 和十字键 **控制照射时间 [操作说明] （1）接通电源使灯点亮 （2）灯稳定后，调整并登记 放射照度（3）设定 曝光时间（以放射照度×时间显示曝光量） （4）曝光 时间曝光时自动快门开闭 在手动曝光的情况下， 一边观察曝光量一边手动开闭快门
详情介绍：
产品名称 紫外线曝光装置
类型表达式 UVL-3
光源 超高压汞灯 250W
辐照度[mW/τ] 常用：20 - 22
*大值：24
照度面 （WxH）[mm] 照射范围：φ155
有效：φ113 mm
照度不均[± %] 有效面内 8
查看和操作 主体操作
和外部通信控制
曝光时间 0.1 - 99.9 （长达 99 小时）
样品台 带固定式、平面微调机构
样品尺寸 [mm x mm] 100 x 100
通信 I/F 连接器：USB 2.0 类型-B
通信：通过虚拟 COM 端口 UART
电源电压 AC100V　50/60Hz
功耗[VA] 450
操作环境 温度 ： 5 - 35 °C ]
湿度 ： 80 [%] 或更少，无冷凝
尺寸 （WxHxD） [mm] 422.5mm （W） ×781mm （H） ×357mm （D） 不包括投影
重量[kg] 30
扩展 [可选]
•辐照度变化（更改为 20 或更少）
，曝光蒙版支持（添加掩膜支架和样品托盘）
[自定义]
和样品尺寸更改（由于照射范围也更改，因此自定义支持）
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