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  • 产品名称： 代理Otsuka大塚电子FE-5000嵌入式膜厚仪

  • 产品型号：
  • 产品厂商：OTSUKA大塚电子
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简单介绍：
代理Otsuka大塚电子FE-5000嵌入式膜厚仪 椭圆偏振光测量仪 多功能椭偏仪 椭偏仪系统
详情介绍：

塔玛萨崎电子（苏州）有限公司代理、直营各日本品牌工业产品，联系人：张小姐

联系电话：15902189399  


产品信息

特点
  • 可在紫外可见（300~800nm）波长范围内测量椭圆参数
  • 纳米级多层薄膜的厚度分析
  • 使用 400ch 或更多多通道光谱快速测量椭圆光谱
  • 通过可变反射角度测量支持薄膜的详细分析
  • 通过数据库化光学常数和添加配方注册功能，提高可操作性

 

测量项目
  • 椭圆参数（tan= 、cosΔ）测量
  • 光学常数 （ n ： 折射率 ， k ： 消光系数 ） 分析
  • 厚度分析

 

测量对象
  • 半导体晶圆
    栅极氧化薄膜、氮化膜
    SiO    2，SixOy，SiN，SiON，SiNx，Al2O3，SiNxOy，poly-Si、ZnSe、BPSG、TiN
    电阻的光学常数（波长色散）
  • 化合物半导体
    铝    xGa(1-x)As 多层膜，非晶硅
  • FPD
    对准膜
  • 各种新材料
    DLC（Diamond Like Carbon）、超导薄膜、磁头薄膜
  • 光学薄膜
    TiO    2，SiO2，防反射膜
  • 光刻领域
    g 线 （436nm）、h 线 （405nm） 、i 线 （365nm） 等各波长的 n，k 评价

里·哈拉

将包含 s 波和 p 波的线性偏振光入射到样品中，以测量反射光的椭圆偏振光。 s 波和 p 波的相位和振幅独立变化，以获得 p 波和 s 波反射率的比值和相位差 Δ，这是两种偏振光的转换参数，具体取决于样品。

光谱椭圆计原理
 

tan_ 和 cons_称为椭圆参数，光谱椭圆测量测量这两个参数的波长相关光谱。

手势
类型表达式 FE-5000S FE-5000
样本大小 高达 100x100mm *大 200x200mm
测量方法 旋转分析仪*1
测量膜厚范围（nd） 0.1nm～1μm
入射（反射）角度范围 45～90° 45～90°
入射（反射）角度驱动方式 自动正弦杆驱动系统
入射点直径*2 φ2.0 φ1.2sup*3
tanψ测量精度 ±0.01 或更少
cosΔ 测量精度 ±0.01 或更少
薄膜厚度的重复再现性 0.01% 或更少*4
波长范围*5 300～800nm 300～800nm
测量光源 高稳定性 Xenon 灯*6
舞台驱动系统 手动 手动/自动
加载器支持 不可以 是
尺寸、重量 650（W)×400（D)×593（H）mm
50kg 		1300（W)×890（D)×1750（H）mm
350kg*7

*1 偏振器可驱动，缓速板可拆卸，对不敏感带有效。
*2 因短轴和角度而异。
*3 微点对应（可选）
*4 使用 VLSI 标准 SiO2 膜 （100nm） 时的值。
*5 选择自动阶段时的值。

 江苏地区代理Otsuka大塚电子FE-5000嵌入式膜厚仪


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浙江地区代理Otsuka大塚电子FE-5000嵌入式膜厚仪


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