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产品详情
简单介绍:
■ 任何方向
■ 体积小巧
■ 节能
■ 快速启动
■ 带排气阀快速关闭
■ 耐用的空气突气结构
■ 串口通讯
※RS232C串口
详情介绍:
应用
■ 半导体生产
■ 电子枪排气、电离源排气
■ 平板显示器制造
■ 表面处理、表面改性
■ 各种电子元件的制造
■ 分析、检测设备
■ 灯具生产、光学元件生产
■ 加速装置、辐射设施、核聚变研究
■ 热处理
■ 研究与开发
*如果排出腐蚀性气体,请选择我们的化学用TG-M或TG系列。
入口法兰 |
VG200 ISO-B200 CF200 |
|
体积流量 | N2(升/秒) | 1400 |
N2 (带防护屏) (升/秒) |
1300 | |
H2(升/秒) | 750 | |
*大压缩 比 |
N2 | 1×108 |
H2 | 4.3×103 | |
基础压力 |
(帕) (托尔) |
<1×10-6 <7.5×10-9 |
*大吞吐量※1 | (SCCM) | 450 |
启动时间 | (分钟) | 5.5-7 |
关机时间 | (分钟) | 15-18 |
*大背衬压力 | (帕/托尔) | 330/2.5 |
推荐的后级 真空泵 |
(升/分钟) | ≧250 |
位置 | 任何方向 | |
重量 | VG・ISO-B/CF(KG) | 29/30 |
控制器 | TC1103 |
*1 : 使用500L/min的前级真空泵时。
[使用环境温度]
确保达到极限压力的环境温度范围为 10-23°C。风冷型允许环境温度为10-32°C,水冷型允许环境温度为10-40°C。确保极限压力的冷却水的*高温度为30°C,冷却水的允许温度范围为10-35°C。
联系人:李先生 13402684488(微信同号)
罗茨真空泵、油封旋转真空泵、液环真空泵、油扩散泵、喷射器、干式真空泵、真空系统、真空设备
常熟代理Osakavacuum大阪真空涡轮分子泵TG1400F
昆山代理Osakavacuum大阪真空涡轮分子泵TG1400F
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