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  • 产品名称：代理Osakavacuum大阪真空超高真空型TG-MU系列

  • 产品型号：
  • 产品厂商：OSAKAVACUUM大阪真空
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简单介绍：
■ 适用于所有特高压应用 TG-MU系列旨在通过减少材料的放气和提高氢气压缩效率，有效地将轻质气体从高真空区域抽真空到超高真空区域。 极限真空可以在短时间内实现10-9 Pa顺序（在10-11 Torr）区域。
详情介绍：

应用

- 分析仪器，表面分析和特高压研发。

- 特高压半导体薄膜工艺和MEMS研发

- 能源研究、加速器、核聚变等 



 

TG900MU
 
TG1300MU
 
Inlet flange

CF160
 
CF200
 
Volume flow rate

N2 (L/s)

900
 
1300
 
N2 (with protective 
screen) (L/s)

860
 
1230
 
H2 (L/s)

1050
 
1200
 
Max. compression ratio

N2 
1×108
 
H2 
6.0×104
 
Base pressure

(Pa/Torr)

< 1×10-8/< 7.5×10-11
 
Max. throughput※1 

N2(sccm)

3000
 
Startup time (min)

4-5
 
Shutdown time (min)

4-5
 
Max. backing pressure

(Pa/Torr)

500/3.8
 
Recommended backing vacuum 
pump (L/min)

≧250
 
Weight (kg)

42
 
Controller

TC010MA

  • *1 ： 1000L/min的**真空泵。

  • *2 ： 尺寸与标准尺寸相同。

联系人：李先生 13402684488（微信同号）
罗茨真空泵、油封旋转真空泵、液环真空泵、油扩散泵、喷射器、干式真空泵、真空系统、真空设备





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