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产品详情
简单介绍:
支持摆动喷嘴式喷洒显影及搅拌式显影 考虑到耐药性,
在接液部位使用 SUS 基板尺寸 Φ1~Φ6 Inch 通过液晶触摸面板进行编程输入,
操作简单*多可扩充至 3 种药液 连续进行药液、冲洗、排液处理 内置药液压力推送泵
详情介绍:
腔室 |
由PVC(氯乙烯)制成 | 转数 | 0~3,000rpm |
电路板尺寸 |
φ1英寸~φ12英寸 (220×220mm) |
联锁 |
真空吸附确认传感器 处理室盖联锁 吸嘴移动超限 限位器 |
化学压力输送 |
压力罐压力进给 | ||
药液喷出 |
喷雾喷射 (摆动喷嘴类型) |
电源 | AC200V 3 相 15A |
尺寸 (mm) 打开门时 |
720W×500H×520D 910H |
||
步骤数 |
48 步 跳过和复制功能 |
||
程序模式 | 10 种模式 | 重量 | 60㎏ |
流程(标准) |
蚀刻液:1系统(2个喷嘴) 冲洗:1个系统(2个喷嘴) 背面冲洗:1个系统 |
主要选项 |
化学温度管理系统 (加压系统) 各种基板支架 安装工作台 |
使用的化学溶液 | 酸基蚀刻液 |
上海代理销售MIKASA蚀刻装置ED-3000
杭州代理销售MIKASA蚀刻装置ED-3000
苏州代理销售MIKASA蚀刻装置ED-3000
无锡代理销售MIKASA蚀刻装置ED-3000
南京代理销售MIKASA蚀刻装置ED-3000
刷涂机、刮涂机、喷涂机,实验室设备,研究所仪器
联系人:李先生 13402684488(微信同号)
对准曝光机
MA-10B、MA-20、MA-60F、M-1S、M-2LF、
旋转涂布机
MS-B100、MS-B150、MS-B200、MS-B300、MS-B200(密封)、MS-B300( 密封)
显影刻蚀装置
AD-1200
AD-3000
ED-1200
ED-3000
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