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  • 产品名称：代理AMAYA天谷制作所高生产率连续常压CVD设备 AMAX800V

  • 产品型号：
  • 产品厂商：AMAYA天谷制作所
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简单介绍：
● 8英寸/小时100张高通量 ●采用SiC托盘，可应对重金属污染， 实现长期稳定工艺 ●提高维护性 气相沉积设备
详情介绍：
特点

通过改进输送机制实现高吞吐量。

AMAX 型分散
头中的 SiH，经过优化，可在低温常压下更有效地进行热化学反应4, PH3, B2H6和 O2分散后混合和表面反应的后混合方法，
提供优异的薄膜厚度均匀性和杂质浓度均匀性。

SiC 托盘的采用使重金属污染不难发生。 此外，由于热量，工艺性能
稳定，老化较少。

标准配备托盘自动更换功能，可缩短操作员的**性和维护时间。
此外，通过采用自动提升头底座的机制，可以轻松进行
清洁。

性能
薄膜厚度均匀性 ≦±3.0%
支持的晶圆尺寸 （5 英寸）、6 英寸和 8 英寸
气体种类 SiH4, O2, PH3, B2H6, N2
沉积温度 350～430℃
生产力 ~100张/小时
主要规格

设备尺寸 1460mm(W) x 3830mm(D) x 2250mm(H)
加热机构 电阻加热
卸载 机器人CtoC输送
分散头
（气体喷嘴） 		AMAX 头（标准 3 头）
气相沉积设备气相沉积设备

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