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  • 产品名称：代理AMAYA天谷制作所连续常压 CVD设备A6300S

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  • 产品厂商：AMAYA天谷制作所
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简单介绍：
AMAYA天谷制作所连续常压 CVD设备A6300S ●6英寸~120张/小时吞吐量 ●采用SiC托盘的重金属污染对策 气相沉积设备
详情介绍：
特点

这是一种连续常压
CVD设备，可满足小直径晶圆大规模生产设备的需求，每小时可产生120片吞吐量。

该设备通过非常集中的
输送系统实现大规模生产，同时降低成本，从而实现了广泛的沉积区域。

SiC 托盘的采用使重金属污染不难发生。 此外，由于热量，工艺性能
稳定，老化较少。

标准配备托盘自动更换功能，可缩短操作员的**性和维护时间。
此外，通过采用自动提升头底座的机制，可以轻松进行
清洁。

性能
薄膜厚度均匀性 ≦±4.0%
支持的晶圆尺寸 到 6 英寸
气体种类 SiH4, O2, PH3, B2H6, N2
沉积温度 350～430℃
生产力 ~120张/小时
主要规格

设备尺寸 1500mm(W) x 2850mm(D) x 2000mm(H)
加热机构 电阻加热
卸载 机器人CtoC输送
分散头
（气体喷嘴） 		A63 头（标准 2 头）
深圳代理AMAYA天谷制作所连续常压 CVD设备A6300S

上海代理AMAYA天谷制作所连续常压 CVD设备A6300S

北京代理AMAYA天谷制作所连续常压 CVD设备A6300S

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气相沉积设备

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