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  • 产品名称：AMAYA天谷制作所太阳能电池批量生产用AMAX1000S

  • 产品型号：
  • 产品厂商：AMAYA天谷制作所
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简单介绍：
156mm 方形/小时 1500 张吞吐量 • 通过采用 SiC 托盘解决重金属污染问题， 以及通过改进托盘支架进行背面旋转措施 气相沉积设备
详情介绍：
特点

超大规模生产设备可
运输 156mmx156mm 方形基板和 125mm x 125mm 方形基板，以满足太阳能电池的生产需求。

为了实现大规模生产，我们开发了专用分配头，并开发了双臂输送机构，
以实现超高速输送。 此外，还增加了新的灯加热机制，以获得
超高速和晶圆温度均匀性。

我们开发了特殊的晶圆支架，可有效地加热到太阳能电池的薄晶圆上。

卸载机部分采用多级伯努伊夹头，将晶圆和托盘分开，并
具有冷却功能。

性能
薄膜厚度均匀性 ≦±10%
支持的晶圆尺寸 156mm 方形，126mm 方形
气体种类 SiH4, O2, PH3, B2H6, N2
沉积温度 ～430℃
生产力 1500 张/小时
主要规格

设备尺寸 1860mm(W) x 5900mm(D) x 2100mm(H)
加热机构 电阻加热和灯加热
卸载 加载： 夹紧， 卸载： 伯努伊恰克
分散头
（气体喷嘴） 		A63 长头（*多可添加 3 个标准头和 5 个头）
苏州代理WATANABE渡边用于太阳能电池批量生产AMAX1000S

常州代理WATANABE渡边用于太阳能电池批量生产AMAX1000S

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