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  • 产品名称：国内直销AMAYA天谷制作所MOCVD 设备; Doctor-TTM

  • 产品型号：
  • 产品厂商：AMAYA天谷制作所
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简单介绍：
AMAYA天谷制作所MOCVD 气相沉积设备; Doctor-TTM • 8 英寸晶圆兼容 • 可 沉积金属氧化膜、金属氮化膜等 • 采用 砖利无氯气化器 • 拥有 4 种 MO 材料线 • 单室/双腔室 可选
详情介绍：
概述

配备获得砖利的无氯气化器，可形成各种有机金属化合物。
● 4种MO原料分别通过流量控制同时气化 ， 因此成分比控制简单 。
薄膜厚度均匀性和嵌入性可进行良好的沉积。

应用和实际示例

金属氧化膜： SBT/PZT/STO/BLT/BaTiO3/HfAlxOy/PGO/RuOx/IrOx/SRO/VO2/IGZO/BiOx 等
·金属氮化膜：TaN/TiN/Ta3N5/Nb3N5/AlN 等
·金属（化合物）膜：BiT/GST/SBTNb/Ti/Ta/Ru/Ir/B等

特点

• 使用无氯气化器连续沉积
，易于膜组成控制
，薄膜厚度均匀性好，植入性好

气相沉积设备
规格
设备主体尺寸
（双室） 		1800mm(D) x 3380mm(W) x 2200mm(H)
加热机构 电阻加热
卸载 集群室，机器人CtoC输送
气体喷嘴 圆形

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