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产品详情
简单介绍:
MITAKA三鹰光器MITAKA三鹰非接触式坐标测量装置NH-3SP系列实现了高精度和易用性,
解决了传统的测量问题。・可以在不损坏测量对象
的情况下进行测量・擅长测量陡坡和大不规则性・直接
测量透明物体,例如镜面和透镜
详情介绍:
MITAKA三鹰光器长处
非接触式测量不会磨损探头
由于没有像非接触式探头磨损那样的连续变化,
日常管理也很容易。
日常管理也很容易。

可以观察测量点
始终可以观察测量点和工件表面的激光光斑。 图像处理可实现边缘检测和圆测量。

MITAKA三鹰光器高精度、高刚性XY载物台
NH系列的XY载物台基于“高精度识别=固体机构”的理念,经过精心整理,逐一检查,实现高精度运行并行性。

载物台直线度± 0.107 μm(测量长度 150 mm)

载物台平整度:0.437 μm(测量区域 150×150 mm)
出色的角度跟踪
高灵敏度自动对焦传感器从表面捕获少量反射光。 它能够直接**测量陡坡和颠簸。

小直径齿轮(模数0.3)

*大倾角 87°
MITAKA三鹰光器不受表面颜色或反射率的影响
可以直接测量从反射率约为0.5%的镀膜玻璃到反射率为90%或更高的镜面。


解决测量挑战
接触类型的挑战
探针的测量标记保留在样品表面上
- ・无法测量柔软和粘稠的样品。
- ・无法进行微小的测量定位
- ・磨损
解决挑战
非接触式测量允许使用真实样品测量有价值的工件


激光显微镜的挑战
只能在视野内测量
- ・需要接合才能进行大范围的测量
- ・不擅长自动程序测量。
解决挑战
测量范围是载物台运动的整个范围,因此可以直接测量大面积。


干扰方法的挑战
无法测量大的形状变化。
- ・不擅长测量斜率
- ・只能在视野内测量
- ・无法测量毫米量级的大翘曲。
解决挑战
擅长测量陡坡和大形状的不平整度


焦点堆叠方法的挑战
无法测量镜面工件。
- ・无法测量镜面光洁度的表面粗糙度。
- ・测量透明材料时,需要进行表面处理。
解决挑战
透明物体,如镜面和透镜,也可以直接测量,无需预处理。


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