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  • 产品名称:HORIBA新型压力补偿质量流量控制器SEC-Z700S

  • 产品型号: SEC-Z700S
  • 产品厂商:HORIBA堀场
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简单介绍:
国内总代HORIBA新型压力补偿质量流量控制器SEC-Z700S。 SEC-Z700S 系列配备了新开发的热传感器和压力补偿功能,可实现稳定的流量控制。集成压力测量功能降低了气体输送系统的成本、尺寸和复杂性。新功能简化了供气系统。典型的多腔室气体管线具有管线调节器、压力传感器和过滤器,以避免由压力波动引起的质量流量控制器串扰现象。
详情介绍:

总代HORIBA新型压力补偿质量流量控制器SEC-Z700S 国内各区域销售


基本特征

  • 多气体/多量程功能,客户可以更改气体类型和满量程流量
  • 稳定控制气流,不受上流和下流压力波动的影响
  • 集成多重显示
  • 超洁净设计:金属隔膜,全不锈钢 SUS-316L 和抛光表面处理(标准)
  • 尺寸紧凑,50 SLM 以内采用相同的安装尺寸
  • 信号兼容:支持 EtherCAT 和 DeviceNet 通讯模式

 

主要特征

  • 确保 1% 设定点精度(流量≥5%)
  • 高重复性(≤±0.15% 设定点/流量≥5%)
  • 范围控制广(0.5-100% 满量程)
  • 可调响应(300ms≤t≤1000ms)
  • 高操作温度(15-60℃)
  • 低阀座泄漏(≤0.1% 满量程/#01-#06)
  • 高耐腐蚀性设计

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