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产品详情
简单介绍:
安徽HORIBA堀场光纤型化学药液浓度计CS-150F1
CS-150F1 系列在CS-100的基础上配备光纤。样品单元直接集成到于清洗系统的管路,并使用光纤电缆传输光信号,提供实时在线测量。每台浓度计可实现多达四种药液的测量,可以在单槽或单晶圆清洗系统中检测多种化学药液。
详情介绍:
昆山HORIBA堀场光纤型化学药液浓度计CS-100F1国内各区域供应
光纤型化学药液浓度计CS-150F1
CS-150F1 系列在CS-100的基础上配备光纤。样品单元直接集成到于清洗系统的管路,并使用光纤电缆传输光信号,提供实时在线测量。每台浓度计可实现多达四种药液的测量,可以在单槽或单晶圆清洗系统中检测多种化学药液。
可测量化学药液示例
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使用在线样品单元实时跟进浓度信息
使用直接连接清洗系统主管路的在线样品单元实时检测浓度。
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多达四种药液的多重检测
每台浓度计可测量多达四种化学药液或浓度范围。用户可单次检测多种化学药液的浓度(或不同配比的化学药液),如单槽或单晶圆清洗系统。
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更高精度的样品单元类型
为保证稳定性,还提供一种样品单元类型,支持使用浓度计输出信号反馈进行控制。该浓度计还支持将化学药液浓度保持在可接受的范围内,并消除不必要的化学药液变化。
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电气单元和测量单元完全分离,**安装
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符合 RoHS 标准
Schematics
Concentration monitor

Inline cell Cell unit
使用直接连接清洗系统主管路的在线样品单元实时检测浓度。
每台浓度计可测量多达四种化学药液或浓度范围。用户可单次检测多种化学药液的浓度(或不同配比的化学药液),如单槽或单晶圆清洗系统。
为保证稳定性,还提供一种样品单元类型,支持使用浓度计输出信号反馈进行控制。该浓度计还支持将化学药液浓度保持在可接受的范围内,并消除不必要的化学药液变化。
Schematics
Concentration monitor
Inline cell Cell unit
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