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  • 产品名称：Smart SE- 功能强高性价比椭偏仪江苏总代

  • 产品型号： Smart SE
  • 产品厂商：HORIBA堀场
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简单介绍：
Smart SE- 功能强高性价比椭偏仪江苏总代Smart SE 是一款通用型薄膜测量工具。测试速度快，准确。它可以表征几埃到20µm薄膜厚度、光学常数（n, k）以及薄膜结构特性（如粗糙度、光学梯度及各向异性等）。Smart SE利用 DeltaPsi2 软件平台在几分钟内对450-1000nm的光谱数据进行采集、建模分析。自动化双软件操作平台，从简化的工作流程到**研发，满足不同层次和需求的客户。
详情介绍：

Smart SE- 功能强高性价比椭偏仪江苏总代

Smart SE 是一款通用型薄膜测量工具。测试速度快，准确。它可以表征几埃到20µm薄膜厚度、光学常数（n, k）以及薄膜结构特性（如粗糙度、光学梯度及各向异性等）。

Smart SE利用 DeltaPsi2 软件平台在几分钟内对450-1000nm的光谱数据进行采集、建模分析。自动化双软件操作平台，从简化的工作流程到**研发，满足不同层次和需求的客户。

Smart SE是一款性价比极高的薄膜研发工具，以经济实惠的价格提供了研究级的性能。标配一套完整样品可视化系统，准确定位分析位置及区域，7个不同尺寸的微光斑可用于微区特征分析。几秒钟即可获得完整的16位穆勒矩阵，用于复杂样本的研究。

Smart SE配置灵活、具备多角度测量能力，可方便实现在线与离线配置切换。是一款针对单层和多层薄膜进行简单、快速、准确表征和分析的工具, 可用于在线原为测试。Smart Se可以满足各类应用领域，包括微电子，光伏，显示，光学涂料，表面处理和有机化合物等。

标准配置
光谱范围： 450nm to 1000nm
光谱分辨率 优于3nm
光源 卤素灯和蓝光LED
测试时间 小于1秒到10秒
光斑尺寸

75µm * 150µm, 100µm * 250µm,

100µm * 500µm, 150µm * 150µm,

250µm * 250µm, 250µm * 500µm,

500µm*500µm

入射角 450 to 900 ，步径50
样品尺寸 200mm以内
样品准直 手动调整样品台高度（17mm以内）和倾角
外形尺寸 100cm * 46cm * 23cm(W*H*D)
scrollable
性能
空气对射精度 Ψ=450±0.050 Δ=00±0.20
厚度准确性： 0.04%
厚度重复性： ±0.02%
scrollable

 

 

可选附件

  • 全自动量角器，入射角度从450 到900可调，步径0.010
  • 可通过法兰耦合在反应腔实现在线监测
  • 冷热台
  • 液体样品池和电化学反应池
  • 十字星自准直系统



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