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MORITEX茉丽特-高速高分辨率晶圆检测*佳方案

日期：2025-06-15 08:42
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摘要： 晶圆（Wafer）是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，其形状为圆形，故称为晶圆（Wafer）。硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的检测质量将直接影响下步半导体加工工艺的精度及成本。 被测物体:晶圆 客户要求： 1.wafer检测，通常要求高分辨率 2.高速检测，因此要求光源亮度高且镜头Fno.小光通量大 3.低畸变 难点： 1.匹配16K 3.5um相机 2.支持相机靶面62mm 3.高...

晶圆（Wafer）是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，其形状为圆形，故称为晶圆（Wafer）。硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的检测质量将直接影响下步半导体加工工艺的精度及成本。

被测物体:晶圆





客户要求：

1.wafer检测，通常要求高分辨率

2.高速检测，因此要求光源亮度高且镜头Fno.小光通量大

3.低畸变

难点：

1.匹配16K 3.5um相机

2.支持相机靶面62mm

3.高度运动，相机曝光时间极短，对光源和镜头要求高


解决方案：

相机: 16K3.5级阵相机

镜头:茉丽特ML-F90C-070

光源:茉丽特MLNC-CW300-DF



相机：茉丽特ML-F90C-070


光源:茉丽特MLNC-CW300-DF




成像对比






优点:

*完全匹配16K3.5um线阵相机，中心和边缘成像一致性好

*镜头Fno 2.8，亮度高30%

*高亮光源（70万lx@wd=50mm)


晶圆要实现高速高质检测，需要大通光量及高分辨率，茉丽特F90C镜头，拥有同类产品中*小光圈值（F2.8）及**分辨率（全视场中心到边缘150lp/mm)，搭配茉丽特线性光源使用，能实现业内*理想的成像效果。





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