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半导体测试设备:探针接触式轮廓仪,台阶仪.膜厚仪/KOSAKA日本小坂

日期：2025-05-01 02:38
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摘要：株式会社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年创立的公司，也是日本一家发表光学 杠杆表面粗糙度计，是一家具有悠久历史与技术背景的厂商,主要有测定/自动/流体三大 部门。其中测定部门为具代表性单位且在日本***测定业占有一席无法被取代的地位。KOSAKA日本小坂半导体测试设备:KOSAKA日本小坂探针接触式轮廓仪,KOSAKA日本小坂台阶仪.KOSAKA日本小坂膜厚仪/KOSAKA日本小坂KOSAKA日本小坂半导体测试设备:KOSAKA日本小坂探针接触式轮廓仪,KOSAKA日本小坂台阶仪.KOSAKA日本小坂膜厚仪/KOSAKA日本小坂KOSAKA日本小坂半导体测试设备:KOSAKA日本小坂探针接触式轮廓仪,KOSAKA日本小坂台阶仪.KOSAKA日本小坂膜厚仪/KOSAKA日本小坂

半导体测试设备:探针接触式轮廓仪,台阶仪.膜厚仪/KOSAKA日本小坂

株式会社（KOSAKA）小坂研究所是于 1950 年创立的公司，也是日本一家发表光学杠杆表面粗糙度计，是一家具有悠久历史与技术背景的厂商,主要有测定/自动/流体三大部门。其中测定部门为具代表性单位且在日本测定业占有一席无法被取代的地位。

日本KOSAKA小坂以分为电感式、压电式和光电式3种。其测量原理是：当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时，还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。传感器输出的电信号经测量电桥后，输出与触针偏离平衡位置的位移成正比的调幅信号。经放大与相敏整流后，可将位移信号从调幅信号中解调出来，得到放大了的与触针位移成正比的缓慢变化信号。再经噪音滤波器、波度滤波器进一步滤去调制频率与外界干扰信号以及波度等因素对粗糙度测量的影响. 日本KOSAKA小坂台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器 [1]  。根据使用传感器的不同，接触式台阶测量可台阶仪测量精度较高、量程大、测量结果稳定可靠、重复性好，此外它还可以作为其它形貌测量技术的比对。小坂台阶仪但是也有其难以克服的缺点：
1由于测头与测件相接触造成的测头变形和磨损，使仪器在使用一段时间后测量精度下降；
2测头为了保证耐磨性和刚性而不能做得非常细小尖锐，如果测头头部曲率半径大于被测表面上微观凹坑的半径必然造成该处测量数据的偏差；
3为使测头不至于很快磨损，测头的硬度一般都很高，因此不适于精密零件及软质表面的测量。


KOSAKA小坂台阶仪（探针台）具有以下特点：

二维／三维表面粗度解析及台阶测定，可实现高精度、高辨识能力及优越的**性。

用于平板显示器、硅片、硬盘等的微细形状台阶／粗度测定另外也可利用微小测定力来对应软质样品表面测定。

具备载物台旋转功能，便于定位下针位置。


高精度 • 高稳定性 • 功能超群。

FPD 基板 • 硅片 • 硬盘等

微细形状、段差、粗糙度等测量。


半导体测试设备:探针接触式轮廓仪,台阶仪.膜厚仪/KOSAKA日本小坂
KOSAKA小坂 LAB ET 200A

微细形状测定机（探针接触式台阶仪）


设备特点：

KOSAKA小坂 ET200A 基于 Windows 操作系统为多种不同表面提供***的形貌分析，包括

半导体硅片、太阳能基板、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、

薄膜/化学涂层、平板显示、触摸屏等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高

精度表面形貌分析应用。ET200A 能准确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨

损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。

ET200A 配备了各种型号探针，提供了通过过程控制接触力和垂直范围的探头，彩色

CCD 原位采集设计，可直接观察到探针工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。



安定性．机能性适合于FPD基板·晶圆硬盘等的微细形状、段差、粗度测定的机型。

是多机能的全自动微细形状测定机，针对用途及样品尺寸有多种机型可供选择。

 ET4000A/ ET4000AK一可实现2D/3D表面形状测量。

半导体测试设备:探针接触式轮廓仪,台阶仪.膜厚仪/KOSAKA日本小坂规格

一、样品台：

1. 样品台尺寸：φ160mm

2. 工件尺寸：φ200mm

3. 工件厚度：52mm

4. 工件重量：2kg

5. 倾斜调整范围：±2°(±5mm/160mm)

6. 样品台材质：黑色硬质铝

7. 手动旋转：360°(手动粗调)、±5°(微调，小约0.5°)

二、传感器（pick up）：

1. 原理：直动式传感器 （***）

2. Z方向测定范围：Max. 600?m

3. Z方向小分辨率：0.025nm (2,000,000放大倍率时)

4. 测定力： 10uN ~500uN

5. 触针半径：2 ?m 60° 钻石针头 （另有多种可选）

6. 驱动方式：直动式

7. 再现性：1σ= 0.2nm (1um以下台阶时)

三、KOSAKA日本小坂X 轴 (基准轴/测量轴)：

1. 移动量(测长)：100mm (±50mm)

2. 真直度：0.2?m/100mm(全量程)，5nm/5mm (局部)

3. 移动,测定速度：0.005~20mm/s

4. 线性尺(linar scale)：X方向分辨率 0.1?m

5. 位置重复误差：±5um

四、Z轴：

1. 移动量：54mm

2. 移动速度：max.2.0mm/S

3. 检出器自动停止机能

六、Y轴：（手动定位用）

1. 移动量：25mm（±12.5mm）

七、工件观察：

1. 彩色1/3”CCD，x4物镜倍率

2. 综合倍率：约320倍 (使用19” monitor时)

3. 视野：1.2*0.9mm

4. 观察方向：右侧斜视

5. 照明：白色LED（可使用软件调整明暗度）

八、KOSAKA日本小坂软件功能简介：

1. 型号：i-STAR31

2. 可设定测量条件菜单、重复测量设定、解析菜单

3. 可设定下针座标，实现定位后自动测量及解析功能

4. 可设定低通滤波，过滤噪音及杂讯

5. 具有返回测量启始点功能

6. 显示倍率：垂直方向50~2,000,000倍、纵方向1~10,000倍

7. 解析功能：主要图型、段差解析、粗糙度解析、内应力分析、内建多种段差解析菜单可

选

九、床台：一体花岗岩

十、防振台(选购)：落地型或桌上型

十一、电源：AC220V±10%，50/60HZ，300VA

十二、本体外观尺寸及重量：

W500×D440×H610mm, 120kg，一体花岗岩低重心结构

(不含防震台)

半导体测试设备:探针接触式轮廓仪,台阶仪.膜厚仪/KOSAKA日本小坂

作为一种常见的光学测量设备，台阶仪精度在许多领域都有着广泛的应用。然而，在测量一些新型材料和微纳器件时，我们发现台阶仪精度并不适用。这是因为相对于白光干涉仪，台阶仪精度存在着无法测量高反光、高透明材料，无法非接触测量，无法快速测量等问题。

首先KOSAKA日本小坂，我们来看看高反光、高透明材料的问题。对于这类材料，由于其表面反射率极高或是穿透率极强，使得台阶仪精度难以准确地读取数据。而白光干涉仪则可以光干涉技术来解决这个问题。

其次日本KOSAKA小坂，在微纳器件的测量中，非接触性显得尤为重要。然而，由于台阶仪精度需要与被测试物品直接接触才能进行测量，这就意味着它无法应用于那些需要非接触式测量的场景。而白光干涉仪则可以通过激光束扫描或者投影衍射技术来实现非接触式测量。

*后KOSAKA日本小坂，快速测量也是一个需要考虑的因素。在一些生产线上，快速而准确的测量是至关重要的。然而，台阶仪精度需要对被测试物品进行多次扫描和计算，这就导致了其测量效率较低。相比之下，白光干涉仪可以通过一次扫描即可得到准确数据，并且速度更快。

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