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半导体8寸，128寸ET4000台阶仪日本KOSAKA小坂微细形状测定机

日期：2024-05-07 03:15

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半导体8寸，128寸ET4000台阶仪日本KOSAKA小坂微细形状测定机
半导体8寸，128寸ET4000台阶仪日本KOSAKA小坂微细形状测定机商品描述

株式会社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年创立的公司，也是日本一家发表光学杠杆表面粗糙度计，是一家具有悠久历史与技术背景的业厂商,主要有测定/自动/流体三大部门。其中测定部门为具代表性单位且在日本精密测定业占有一席无法被取代的地位。

产品概述：
● 高精度．安定性．机能性**适合于FPD基板·晶圆硬盘等的微细形状、段差、粗度测定的机型。
● 是多机能的全自动微细形状测定机，针对用途及样品尺寸有多种机型可供选择。
● ET4000A/ ET4000AK一可实现2D/3D表面形状测量。
● ET4000M一高性能的泛用微细形状测定机。
● ET4000L一对应大型工件的全自动微细形状测定机。
● ET4300一适合12"样品测量。
●各机型详细参数请与区域销售联系。
台阶仪/膜厚仪ET4000系列产品参数
*大试片尺寸重现性测定范围分解能测定力
210×210mm~300×400mm
1σ 0.5nm以内
Z:100um X:100～305mm (Y移动量:150~400mm)
Z:0.1nm X:0.1um
0.5UN~500UN (0.05mg-50mg)

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