日本ULVAC爱发科/活塞泵/油旋片式/罗茨式/干式真空泵-塔玛萨崎电子（苏州）有限公司代理销售

日本ULVAC爱发科/活塞泵/油旋片式/罗茨式/干式真空泵-塔玛萨崎电子（苏州）有限公司代理销售

株式会社ULVAC以**真空技术为基础，为先端技术应用及精细加工工艺为追求的研究开发型综合企业集团。
目前爱发科已成为在中国*大的真空泵及附属品生产基地，是集真空泵、真空测量及真空非标制品的生产、销售、售后服务一体的国家高新技术企业。作为追求真空极限（Ultimate in Vacuum）的真空技术先驱，在能源、电子、光学、未来显示技术、半导体器件、环保、医药、食品、生物工程、家电、自动化生产线等领域广阔应用，推进发展各种制造与应用设备。

秉承爱发科固有的工匠精神及日本先进的技术和本地的制造优势，为中国乃至世界的制造业及科技发展做出贡献。
真空泵

爱发科提供各行业生产用全系列真空泵产品，干式真空泵，油旋转真空泵，机械增压泵，溅射离子泵，涡轮分子泵，油扩散泵，钛吸气泵

日本ULVAC爱发科活塞泵特长：

• 小型、大排气量。

• 气体接触部位无油的干式真空泵。

• 内置过热保护的设计，更**。

• 简单的构造，使维护更简单方便。

日本ULVAC爱发科用途

• 医疗健康（氧浓缩器、生化分析等）。

• 食品、医药、化工（真空包装、气体置换等）。

• 理化学（溶剂回收、真空干燥等）。

• 分析（电子显微镜、质量分析等）。

• 半导体制造（吸附、搬运、安装等）。

• 环境、节能（燃料电池等）。
日本ULVAC爱发科GLD系列油旋片式真空泵特长：

GLD系列是一种高性能、高质量、高可靠性的油旋片式真空泵。为了更好地提高散热效果，GLD系列产品在散热片部分进行了**设计，从而实现了同类产品无可比拟的高真空。它还具有油位观察大，便于确认油污染状况、低震动、低噪音等优点。

用途

冰箱、空调、饮水机自动抽空线、照明理化学实验用、分析仪器用、激光应用机器、真空排气设备、电子显微镜的辅助泵、半导体制造设备、溅射设备、真空镀膜设备、真空干燥器
油旋片式真空泵特长：

实现了低噪音

由于彻底的低噪音设计和精密的加工，从而达到了低噪音化。

优良的保养、维修性能

因为能在真空泵与其他设备的连接管道不拆除的情况下，将泵的主体部分取下，所以清洗保养及油封等的更换变的非常容易。为使日常保养工作方便容易，油量确认、油补充、油更换的方向为同一操作方向。

为延长使用油的补充期，采用了1.0～2.5升可变油量方式。

能对应全压强领域的连续运转

采用高吸气压强也能稳定运转的强制供油方式。选用油雾过滤器、油回收装置及耐热密封件后，就能在大气压以下的全压强范围内连续运转。

用途

• 镀膜、溅射、离子镀。

• 气体置换、充填、真空隔热。

• 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气

• 分析仪器、检漏装置。

• 真空包装、真空吸附。

• 搬运、真空成形、真空铸造等。
油旋片式真空泵特长：

稳定的排气特性

低噪音

装有气镇阀

通过打开气镇阀，可以将一定量的水蒸气从排气口排出，并能净化油箱内的真空泵油。

维修保养方便

结构简单，零部件数量少，复原性好，便于保养及检修，另外大油量型真空泵设有底部放油口和专门加油口，便于定期换油。

大油量型

采用大油箱后，能降低泵的油温，减少油的氧化和劣化，延长油的使用寿命。另外，对一般的真空装置来说，能降低吸入泵中的蒸气及粉尘所引起的油污染的程度，从而减少油更换的频率，降低使用成本。

用途

• 中央空调、照明、制冷。

• 冷媒灌注机、液晶注入机。

• 真空冷冻干燥、真空包装。

• 各种真空设备等相关行业。
罗茨式真空泵特长：

洁净的真空

腔体内没有润滑油，对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能。

能在高吸入压强下运作

选用比标准电机容量大**的电机，即可实现在高吸入压强下的运作。

用途

• 照明、电子、光学、半导体。

• 镀膜、溅射、离子镀、液晶注入。

• 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气。

• 真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉。

• 分析仪器、检漏设备、CO2激光设备。
干式真空泵特长：

NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。

低噪音、低振动

优良的耐腐蚀性

标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理，降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。

选购件

可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。

用途

• 活性气体（CVD、刻蚀等）。

• 排出非活性气体（溅射镀膜、 蒸气镀膜、热处理、液晶注入等）。

• 用于产生粉尘工艺中的排气（Si单晶炉等）

• 作为前级泵使用（涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵）。

• 冷冻干燥等水蒸气排气。
型号：
日本ULVAC爱发科DOP-N181SA ，日本ULVAC爱发科 DOP-N181SB ，日本ULVAC爱发科 DOP-N181SC，日本ULVAC爱发科DOP-N181SD ，日本ULVAC爱发科DOP-N181SE ，日本ULVAC爱发科GLD-N051，日本ULVAC爱发科GLD-N280，日本ULVAC爱发科GLD-N137，日本ULVAC爱发科GLD-N202，日本ULVAC爱发科VDN301，日本ULVAC爱发科VDN401，日本ULVAC爱发科PVD-N1 80，日本ULVAC爱发科PVD-N180-1，日本ULVAC爱发科PVD-N360，日本ULVAC爱发科PVD-N360-1，日本ULVAC爱发科VSN1501，日本ULVAC爱发科VSN2401，日本ULVAC爱发科NB100B，日本ULVAC爱发科NB300B，日本ULVAC爱发科NB600B，日本ULVAC爱发科NB1200B，日本ULVAC爱发科NRL60A，日本ULVAC爱发科NRL90A，日本ULVAC爱发科NRL180A，日本ULVAC爱发科YM-RL-301A，日本ULVAC爱发科YM-RL-601A，日本ULVAC爱发科YM-RL-1201A，日本ULVAC爱发科YM-RL-302A，日本ULVAC爱发科YM-RL-602A，日本ULVAC爱发科YM-RL-1202A
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