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日本AMAYA株式会社天谷制作所——半导体设备

日期：2024-04-29 11:22

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摘要：常压CVD装置准备了满足顾客需求的产品阵容。同时，定做也对应。＜产品特征＞对应于半导体制造用、太阳能电池制造用等各种用途从少量生产到大量生产形成SiO2、BPSG、BSG、PSG等各种膜种采用SiC托盘防止重金属污染，从低温（200℃）到中温（500℃）区域可以广泛成膜 A200V 单片式常压CVD装置 AMAX800V 8英寸连续式量产用常压CVD装置 ...