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日本MIKASA|涂布机、匀胶机、旋转涂膜仪|中国代理店塔玛萨崎电子(苏州)有限公司
日期:2024-05-04 00:56
浏览次数:108
摘要:日本MIKASA|涂布机、匀胶机|中国代理店塔玛萨崎电子(苏州)有限公司
光刻胶(Photoresist)又称光致抗蚀剂,是指通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射,其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体。在光刻工艺过程中,用作抗腐蚀涂层材料。半导体材料在表面加工时,若采用适当的有选择性的光刻胶,可在表面上得到所需的图像。光刻胶按其形成的图像分类有正性、负性两大类。在光刻胶工艺过程中,涂层曝光、显影后,曝光部分被溶解,未曝光部分留下来,该涂层材料为正性光刻胶。如果曝光部分被保留下来,而未曝光被溶解,该涂层材料为负性光刻胶。按曝光光源和辐射源的不同,又分为紫外光刻胶(包括紫外正、负性光刻胶)、深紫外光刻胶、X-射线胶、电子束胶、离子束胶等。光刻胶主要应用于显示面板、集成电路和半导体分立器件等细微图形加工作业。光刻胶生产技术较为复杂,品种规格较多,在电子工业集成电路的制造中,对所使用光刻胶有严格的要求
MIKASA米卡萨 旋转涂布机蚀刻机光刻机 半导体晶圆涂抹MS-B150
MIKASA米卡萨 旋转涂布机蚀刻机光刻机 半导体晶圆涂抹MS-B150
日本MIKASA|涂布机、匀胶机|中国代理店塔玛萨崎电子(苏州)有限公司
日本MIKASA旋转涂布机MS-A150/MS-B150现货现货
旋转涂膜仪
滴液装置可选组件 吸盘
●MS-B100/ MS-B150
●MS-B200
●MS-B300
●MS-B200 (密闭型)
●MS-B300 (密闭型)
日本MIKASA光刻机
●MA-10
●MA-20
●MA-60F
●M-2LF
●M-1S
日本MIKASA曝光,将光掩膜与晶园重合,复制电路图案。
日本MIKASA显影、蚀刻装置DeveloperEtching
去除曝光部位(正胶)的光刻胶。
●AD-1200
●AD-3000
●PD-1000
日本MIKASA蚀刻装置
蚀刻装置
●ED-1200
●ED-3000
日本MIKASA|涂布机、匀胶机、旋转涂膜仪|中国代理店塔玛萨崎电子(苏州)有限公司
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