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HORIBA堀场FranceSAS椭圆偏振光谱仪-自动化薄膜测量工具
HORIBA堀场FranceSAS椭圆偏振光谱仪-自动化薄膜测量工具
HORIBA堀场FranceSAS椭圆偏振光谱仪-自动化薄膜测量工具
Auto SE - 自动化薄膜测量工具
一键式全自动快速椭偏仪
Auto SE是一种新型薄膜测量工具。仅需简单的几个按钮,几秒钟内即可自动完成样品测量和分析,并提供完整的薄膜特性分析报告,包括薄膜厚度、光学常数、表面粗糙度和薄膜的不均匀性、反射率或透过率。
Auto SE全自动化设计、一键式操作,功能齐全。配备自动XYZ样品台进行成像分析,自动切换微光斑,多种附件可选,以满足不同的应用需求。
Auto SE借助完整的操作向导,自动检测并诊断问题,对故障进行处理,仪器维护简单
Auto SE是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。
HORIBA堀场FranceSAS椭圆偏振光谱仪-自动化薄膜测量工具
全自动流程,薄膜分析更容易
高性能系统
光斑可视化,微光斑可至25x60 µm
功能齐全和灵活
智能诊断
HORIBA堀场FranceSAS椭圆偏振光谱仪-自动化薄膜测量工具
光谱范围:440-1000nm
光斑尺寸:7个尺寸微光斑全自动切换500x500 µm; 250x500 µm; 250x250 µm; 70x250 µm; 100x100 µm; 50x60 µm; 25x60 µm
探测系统:CCD,分辨率2nm
样品台:真空吸盘,Z轴行程40mm
光斑可视系统:CCD摄像机-视野1.33x1 mm-分辨率10µm
量角器:固定角70°,也可选择66°或61.5°
多种附件可选
测试时间:<2s,常规为5s
准确性:NIST 100nm d ± 4Å, n(632.8nm) ± 0.002
重复性:NIST 15nm ± 0.2 Å
HORIBA堀场FranceSAS椭圆偏振光谱仪-自动化薄膜测量工具