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  • 头部集成了薄膜厚度测量所需功能 通过显微光谱法测量高精度**反射率(多层膜厚度,光学常数) 1点1秒高速测量 显微分光下广范围的光学系统(紫外至近红外) 区域传感器的**机制 易于分析向导,初学者也能够进行光学常数分析 独立测量头对应各种inline客制化需求 支持各种自定义 OPTM显微分光膜厚仪_OPTM-A1_Otsuka大塚 OPTM显微分光膜厚仪_OPTM-A1_Ots
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  • 晶圆在线测厚系统GS-300Otsuka大塚晶圆在线测厚系统GS-300Otsuka大塚晶圆在线测厚系统GS-300Otsuka大塚
  • SF-3分光干渉式晶圆膜厚仪Otsuka大塚SF-3分光干渉式晶圆膜厚仪Otsuka大塚SF-3分光干渉式晶圆膜厚仪Otsuka大塚
  • 线扫描膜厚仪Otsuka大塚线扫描膜厚仪Otsuka大塚线扫描膜厚仪Otsuka大塚
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