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产品名称：UV照射装置 ORC欧阿希 VUS-3300
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简单介绍：

UV照射装置 ORC欧阿希 VUS-3300UV照射装置 ORC欧阿希 VUS-3300UV照射装置 ORC欧阿希 VUS-3300 塔玛萨崎电子（苏州）有限公司系京都玉崎（日本）株式会社全资设立的中国子公司，自2014年成立以来，迅速崛起，专业从事国内贸易/国际贸易业务，主要经营光学设备、电子计测仪器、科学仪器、机械加工设备、环境试验设备、PC周边用品、作业工具用

详情介绍：

低圧UVランプから放射する254nmのUVを利用し、プラズマ処理や、熱アニール処理工程などで、蓄積された電荷を効率よく除去し、素子の特性を改善します。　特性の改善により製品歩留まりの向上、信頼性の向上が期待できます。

◆ 特　徴

1．	フラッシュメモリやその他の不揮発性メモリ、イメージセンサなどのチャージ除去やデータ消去に有効です。
2．	半導体デバイスのトランジスタ特性の改善と安定化にも有効です。
3．	チャージイレースに*適なUV波長を、効率よく照射します。
4．	幅広い角度からUVを照射することで、効率よくチャージを除去します。
5．	対象ウェーハサイズは、１２インチ（標準）、１１インチ（オプション）となります。
6．	処理中のウェーハ温度は100℃程度です。低温で処理可能なため、ダメージを与えません。
7．	装置は、装置本体、ランプ電源ユニット、制御ユニットから構成されています。

◆ 仕　様

型式		VUM-3500	VUS-3300
処理ウエーハサイズ	12インチ	○	○
処理ウエーハサイズ	8インチ	OP	OP
同時処理枚数		15枚	3枚
スループット　※1		約48WPH	約24WPH
カセット形態		FOUP	FOUP
ウェーハ搬送		自動搬送	自動搬送
ランプ灯数		20本	4本
初期照度		45mW/cm²	45mW/cm²
照度測定		自動測定	自動測定
装置サイズ		1140（W）× 2100（D）× 1850（H）	1360（W）× 2210（D）× 2700（(H）

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