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  • 产品名称:UV照射装置 ORC欧阿希 HMW-615N-4

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  • 产品厂商:ORC欧阿希
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简单介绍:
UV照射装置 ORC欧阿希 HMW-615N-4UV照射装置 ORC欧阿希 HMW-615N-4UV照射装置 ORC欧阿希 HMW-615N-4      塔玛萨崎电子(苏州)有限公司系 京都玉崎(日本)株式会社全资设立的中国子公司,自2014年成立以来,迅速崛起,专业从事国内贸易/国际贸易业务,主要经营光学设备、电子计测仪器、科学仪器、机械加工设备、环境试验设备、PC周边用品、作业工具用
详情介绍:

UV照射装置


UVドラィプロセッサー

半導体製造プロセス、液晶基板製造プロセス等微細なパターンを形成する工程において、基板の表面に残る有機物に、UVを照射して有機物汚染を非接触で除去する装置です。基板イダメージを与えずに表面の洗浄と改質が出来ます。

HMW-615N
 

VUM-3073F

◆ 特 徴

1. 基板にダメージが少なく、有機物を分解する能力の高い独自の低圧UVランプを搭載しています。
2. 基板を揺動するモードを利用すると、基板にUV光量が均等に照射されます。
3. 基板はあまり加熱されません。
4. オゾンをカットする照射方式も、窒素ガスをパージする照射方式も適用できます。

◆ 仕 様

型式 HMW-615N-3 HMW-615N-4 VUM-3073F
使用ランプ 低圧UVランプ
VUV-080/A-3.6U・5灯
低圧UVランプ
VUV-100/A-5.3U・7灯
低圧UVランプ
VUV-040/A-2.2U・4灯
照射距離 25mm 25mm 15mm
照射面積 300W X 300D 400W X 400D 200W X 200D
照射時間 0~10min(可変) 0~99min59sec(可変)
排気オゾン除去 オゾン分解用フィルター使用
外形寸法 750W X 700DX 1,435H 180kg 580W X 500DX 240H 25kg

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