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  • 产品名称:OTSUKA大冢-嵌入式膜厚监视器

  • 产品型号:
  • 产品厂商:OTSUKA大塚电子
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简单介绍:
OTSUKA大冢-嵌入式膜厚监视器 OTSUKA大冢-嵌入式膜厚监视器 高精度地实现具有波长依存性的多层膜测量!
详情介绍:

OTSUKA大冢-嵌入式膜厚监视器

特长

分光干扰法的膜厚计

高精度FFT膜厚解析引擎(**第4303847号)

可以通过有机纤维构筑自由的测量系统

可以组装各种制造设备

可以进行实时的膜厚测量

对应远程操作和多点测量

采用长寿命、高稳定性的白色LED光源



测量项目

多层膜厚解析



用途:

光学胶卷(硬盘、AR胶片、ITO等)

FPD相关(注册、固态、SiO2等)


単一ポイントタイプ

装置構成 単一ポイント

  • 半導体ウェハの面内分布測定
  • ガラス基板の面内分布測定

 

多ポイントタイプ

装置構成 多ポイント

  • リアルタイム計測
  • 流れ方向の品質管理
  • 真空チャンパーにも対応

 

トラバースタイプ

装置構成 トラバース

  • リアルタイム計測
  • 幅方向の品質管理

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