OTSUKA大冢-超高速分光干扰式厚度计SF-3/BB|塔玛萨崎电子（苏州）有限公司

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产品名称：OTSUKA大冢-超高速分光干扰式厚度计SF-3/BB
产品型号：SF-3/BB
产品厂商：OTSUKA大塚电子
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简单介绍：

　SF-3/BB OTSUKA大冢-超高速分光干扰式厚度计用非接触的温哈和树脂的超高速实时、高精度的测量。OTSUKA大冢-超高速分光干扰式厚度计SF-3/BBOTSUKA大冢-超高速分光干扰式厚度计SF-3/BBOTSUKA大冢-超高速分光干扰式厚度计SF-3/BB

详情介绍：

SF-3/BB

OTSUKA大冢-超高速分光干扰式厚度计

用非接触的温哈和树脂的超高速实时、高精度的测量。

特长

非接触、非破坏可进行厚度测量

反射光学系统（可以通过一方的接触来测量）

高速性（*快5ks）且可实时评价

实现高的稳定性（重复精度0.01%）

粗枝大叶

可以对应任何距离

对应多层结构（*大5层）

内置NG数据的功能

可以测量距离（形状）（组入传感器的附属选项）*

*根据测量范围内的光学距离测量

Point1：独自の技術で

幅広い範囲の膜厚に対応するとともに、高い波長分解能を実現。
大塚電子独自の技術をコンパクトボディに詰め込みました。

Point2：高速対応

移動する測定対象でも正確なピッチで測れるので、
工場の生産ラインにも*適です。

Point3：さまざまな表面状態のサンプルに対応

約φ20μmという微小スポットにより、
さまざまな表面状態のサンプルにおいても、厚み測定が可能です。

Point4：さまざまな環境に対応

*大200mmまで離れた位置からでも測定可能なため、
目的や用途に応じた測定環境を構築可能です。

測定項目

厚み測定（５層）

用途

各種の厚膜部材厚み

仕様

SF-3仕様

＊1 ：測定条件および解析条件により*小サンプリング周期は異なります。
＊2 ：製品出荷基準の保証値スペックとなり、当初基準サンプルAirGap約300μmと
約1000μm測定時の相対標準偏差（ n = 20 ）
＊3 ： WD50mmプローブ仕様時の設計値
＊4 ：特別仕様
＊5 ：薄膜測定時に使用
※CE取得品はSF-3/300、SF-3/1300