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  • 产品名称： 超快光谱干涉型测厚仪

  • 产品型号：
  • 产品厂商：OTSUKA大塚电子
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简单介绍：
它以超高速，实时，高精度的晶片和树脂非接触方式测量晶片等的研磨和抛光过程。
详情介绍：
特殊长度
  • 可以进行非接触式，非破坏性的厚度测量
  • 折反射系统（可以从一侧接触进行测量）
  • 高速（*高速度5kHz）和实时评估成为可能
  • 实现高稳定性（重复精度不超过0.01％）
  • 抗粗糙性强
  • 可以应付任何距离
  • 支持多层结构（*多5层）
  • 内置NG数据排除功能
  • 可以进行距离（形状）测量（内置传感器随附的选件） *

*通过在测量范围内的光学距离测量

 

 

要点1：采用原创技术

实现高波长分辨率，同时支持广泛的膜厚度。
大冢电子的独特技术封装在紧凑的机身中。

 

要点2：高速支持

它
也是工厂生产线的理想选择，因为它可以**的间距测量运动的物体。

 

第三点：支持各种表面条件的样品

约有φ20μm的微小斑点，
可以在各种表面条件下测量样品的厚度。

 

Point4：与各种环境兼容

由于可以从*远200 mm的距离进行测量，因此
可以根据目的和应用构建测量环境。

 

测量项目
  • 厚度测量（5层）

 

用
  • 各种厚膜构件的厚度

 

 

 

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