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  • 产品名称：兼容装载口的膜厚测量系统GS-300

  • 产品型号： GS-300
  • 产品厂商：OTSUKA大塚电子
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简单介绍：
它是一种具有图案匹配功能且XY定位精度为2um或更小的系统。
详情介绍：
特殊长度
  • 支持集成到Φ300mmEFEM单元的备用端口
  • 实现晶圆中嵌入的布线图案的图案对齐
  • 支持半导体工艺的高产量要求
  • 支持缺口对齐功能
  • 小尺寸规格

 

测量例
  • TSV嵌入式图案晶片研磨后的硅厚度
  • 晶圆厚度Φ300mm尺寸

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