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  • 产品名称：光谱椭偏仪 FE-5000 / 5000S Otsuka大冢

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  • 产品厂商：OTSUKA大塚电子
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简单介绍：
除了可实现高精度薄膜分析的光谱椭偏仪外，我们还通过实施自动可变测量机制支持所有类型的薄膜。除了传统的旋转光子检测器方法外，还通过为延迟板提供自动安装/拆卸机制来提高测量精度。
详情介绍：
  • 椭偏参数可以在紫外-可见光 (300-800 nm) 波长范围内测量。
  • 纳米级多层薄膜厚度分析成为可能
  • 可以通过 400 个或更多通道的多通道光谱快速测量椭圆偏光
  • 支持通过可变反射角测量对薄膜进行详细分析
  • 通过创建光学常数数据库和添加配方注册功能提高了可操作性。
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