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  • 产品名称：超快光谱干涉式测厚仪Otsuka大冢

  • 产品型号：
  • 产品厂商：OTSUKA大塚电子
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简单介绍：
它以非接触方式测量晶片等的研磨和抛光过程，具有超高速、实时和高精度的晶片和树脂。
详情介绍：
  • 可进行非接触式、非破坏性厚度测量
  • 折反射系统（可以从一侧接触测量）
  • 高速（*大速度 5kHz）和实时评估成为可能
  • 实现高稳定性（重复精度 0.01% 以下）
  • 抗粗糙性强
  • 可以处理任何距离
  • 支持多层结构（*多5层）
  • 内置NG数据排除功能
  • 可进行距离（形状）测量（内置传感器选件
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