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  • 产品名称：装载端口兼容薄膜厚度测量系统 GS-300Otsuka

  • 产品型号：
  • 产品厂商：OTSUKA大塚电子
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简单介绍：
它是一个具有模式匹配功能和 2um 或更小的 XY 定位精度的系统。
详情介绍：
  • 支持集成到 Φ300mm EFEM 单元的备用端口
  • 实现嵌入在晶片中的布线图案的图案对齐
  • 支持半导体工艺的高吞吐量要求
  • 支持槽口对齐功能
  • 小尺寸规格
  • TSV嵌入式图形晶圆研磨后的硅厚度
  • 晶圆厚度Φ300mm尺寸
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