測定範囲 X軸(mm)

1200

1200

1200

測定範囲 Y軸(mm)

1200

2000

3000

測定範囲 Z軸(mm)

1000

1000

1000

駆動速度 CNC mode 移動速度(各軸)(AUTO)(mm/s)

8～400

8～400

8～400

駆動速度 CNC mode 移動速度(各軸)(MANUAL)(mm/s)

8～136

8～136

8～136

駆動速度 CNC mode *大合成速度(AUTO)(mm/s)

693

693

693

駆動速度 CNC mode *大合成速度(MANUAL)(mm/s)

236

236

236

駆動速度 CNC mode 測定速度(AUTO)(mm/s)

1～5

1～5

1～5

駆動速度 CNC mode 測定速度(MANUAL)(mm/s)

1～5

1～5

1～5

駆動速度 J/S mode 移動速度(mm/s)

0～80

0～80

0～80

駆動速度 J/S mode 測定速度(mm/s)

0～3

0～3

0～3

駆動速度 J/S mode 微動速度(mm/s)

0.05

0.05

0.05

駆動加速度(各軸)(mm/s²)

1000

1000

1000

駆動加速度(*大合成加速度)(mm/s²)

1732

1732

1732

*小表示量(mm)

0.0001

0.0001

0.0001

案内方式(各軸)

エアベアリング

エアベアリング

エアベアリング

測長ユニット

リニアエンコーダ

リニアエンコーダ

リニアエンコーダ

測定物 *大高さ(mm)

1200

1200

1200

測定テーブル 材質

はんれい岩

はんれい岩

はんれい岩

測定テーブル 大きさ(載物面)(mm)

1400×2165

1400×2965

1400×3965

測定物 *大質量(kg)

2000

2500

3000

測定テーブル 測定物固定方法(mm)

M8×1.25

M8×1.25

M8×1.25