測定範囲 X軸(mm)

2000

2000

測定範囲 Y軸(mm)

3000

4000

測定範囲 Z軸(mm)

1600

1600

駆動速度 CNC mode 移動速度(各軸)(AUTO)(mm/s)

8〜400

8〜400

駆動速度 CNC mode 移動速度(各軸)(MANUAL)(mm/s)

8〜136

8〜136

駆動速度 CNC mode 追大合成速度(AUTO)(mm/s)

693

693

駆動速度 CNC mode 追大合成速度(MANUAL)(mm/s)

236

236

駆動速度 CNC mode 測定速度(AUTO)(mm/s)

1〜3

1〜3

駆動速度 CNC mode 測定速度(MANUAL)(mm/s)

1〜3

1〜3

駆動速度 J/S mode 移動速度(mm/s)

0〜80

0〜80

駆動速度 J/S mode 測定速度(mm/s)

0〜3

0〜3

駆動速度 J/S mode 微動速度(mm/s)

0.05

0.05

駆動加速度(各軸)(mm/s²)

800

800

駆動加速度(追大合成加速度)(mm/s²)

1390

1390

追小表示量(mm)

0.0001

0.0001

案内方式(各軸)

エアベアリング

エアベアリング

本体使用空気圧(MPa)

0.4

0.4

本体空気消費量(L/min)

150（標準状態において）（空気源としては200）

150（標準状態において）（空気源としては200）

測定テーブル 材質

はんれい岩

はんれい岩

測定テーブル 大きさ(載物面)(mm)

2200 × 4205

2200 × 5205

測定物 *大質量(kg)

4000

5000

測定テーブル 測定物固定方法(mm)

M8 × 1.25

M8 × 1.25

本体質量(設置台・コントローラ含む)(kg)

14100

19400

電源

AC100～120/200～240V±10%・50/60Hz

AC100～120/200～240V±10%・50/60Hz

消費電力(プローブオプションI / Fを含む)(kW)

1.5

1.5