測定範囲 X軸(mm)

500

700

700

900

測定範囲 Y軸(mm)

700

700

700

1000

測定範囲 Z軸(mm)

450

450

600

600

駆動速度 CNC mode 追大合成速度(AUTO)(mm/s)

200

200

200

200

駆動加速度(追大合成加速度)(mm/s²)

980

980

980

980

追小表示量(mm)

0.00001

0.00001

0.00001

0.00001

案内方式(各軸)

エアベアリング

エアベアリング

エアベアリング

エアベアリング

測長ユニット

リニアエンコーダ

リニアエンコーダ

リニアエンコーダ

リニアエンコーダ

測定物 追大高さ(mm)

700

700

850

850

本体使用空気圧(MPa)

0.5

0.5

0.5

0.5

本体空気消費量(L/min)

120 L/min（ 空気源としては160 L/min以上）

120 L/min（ 空気源としては160 L/min以上）

120 L/min（ 空気源としては160 L/min以上）

120 L/min（ 空気源としては160 L/min以上）

測定テーブル 材質

鋳鉄

鋳鉄

鋳鉄

鋳鉄

測定テーブル 大きさ(載物面)(mm)

550×750

750×750

750×750

950×1050

測定物 追大積載質量(kg)

250

500

500

800

その他

【本体精度】
長さ測定誤差(μm)：E0,MPE=0.28＋L/1000~ (MPP310Q使用時)
L=任意測定長(単位：mm)

【本体精度】
長さ測定誤差(μm)：E0,MPE=0.28＋L/1000~ (MPP310Q使用時)
L=任意測定長(単位：mm)

【本体精度】
長さ測定誤差(μm)：E0,MPE=0.28＋L/1000~ (MPP310Q使用時)
L=任意測定長(単位：mm)

【本体精度】
長さ測定誤差(μm)：E0,MPE=0.28＋L/1000~ (MPP310Q使用時)
L=任意測定長(単位：mm)