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产品详情
简单介绍:
L-OFM10062MN L-OFM14073MN L-O***0083MN L-O***5089MN L-OFM30093MN
L-OVM20117MN L-OVM20118MN-BS L-OVM50167MN L-OVM50170MN-BS
使用具有大量像素的线传感器摄像机进行检查
平板显示基板的精细图案检查
印刷电路板等的精细图案检测
半导体晶圆等的精细图案检测
详情介绍:
类型表达式 | L-OVM50170MN-BS | |||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
使用放大倍率范围 | -2x~-5x | |||||||
放大倍数 | -2x | -2.5x | -3x | -3.5x | -4x | -4.5x | -5x | (-5.2x)※2 |
焦距 | 117mm | |||||||
F 编号(∞) | F2.5 | |||||||
NA | 0.133 | 0.144 | 0.151 | 0.157 | 0.162 | 0.166 | 0.17 | 0.171 |
参考波长 | 546.07nm(e-line) | |||||||
使用波长范围 | 400~700nm | |||||||
图像圆 | Φ86.4mm | |||||||
对象大小 ※1 |
Φ43.2 mm |
Φ34.6 mm |
Φ28.8 mm |
Φ24.7 mm |
Φ21.6 mm |
Φ19.2 mm |
Φ17.3 mm |
(Φ16.6 mm) |
畸变畸变 ※1 | +0.1% | -0.0% | -0.0% | -0.1% | -0.1% | -0.1% | -0.1% | (-0.0%) |
周边照度比 ※1 | 88.2% | 93.3% | 96.2% | 97.5% | 98.1% | 98.6% | 99.0% | (99.1%) |
光圈刻度 | 2.5 2.8 4 5.6 8 11 | |||||||
物体图像间距离 |
513.7 mm |
561 mm |
612.1 mm |
665.4 mm |
720.1 mm |
775.7 mm |
831.9 mm |
(854.5 mm) |
工作距离 |
119.8 mm |
107.8 mm |
99.8 mm |
94 mm |
89.9 mm |
86.4 mm |
83.6 mm |
(82.7 mm) |
安装 | M67(P=0.75) | |||||||
法兰背 |
253.9 mm |
313.2 mm |
372.3 mm |
431.4 mm |
490.3 mm |
549.3 mm |
608.3 mm |
(631.8 mm) |
过滤器尺寸 | M58(P=0.75) | |||||||
外形尺寸 ※3 | Φ84mm x 140mm | |||||||
质量 | 约1350克 |
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