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产品详情
简单介绍:
AP160Mは半導体製造プロセス等で使用されるガスに対応し、比例ソレノイドバルブの開度を自動制御することによって、配管内の圧力を自動調整するコントローラです。圧力センサを内蔵しているので、外部にセンサを追加する必要はありません。*大制御圧力は650kPa程度で、*大制御流量は100kPa差圧で500cc/分と3000cc/分の2種接があります。AP160Mモデルは比例ソ レノイドバルブをパルス幅変調により制御することによって、応答性を良くし且つヒステリシスを無くすことができるので、1秒程度で設 定圧力に達します。圧力ロ継手は1/4"VCR相当品で、接ガス部や圧力センサは全てメタル製になっており、半導体プロセスガスのほか、不活性ガス、腐食性ガス、危険ガス等全てのガスに対応可能です。
详情介绍:
型式 AP160M
主な用途 半導体用
対象ガス 半導体プロセスガス席食性ガス
入口圧力 500kPa以下
耐圧 1000kPa未満
圧力設定 コンピューター等から圧力設定入力必要
制御方式 比例ソレノイドパルプ制卸
制御圧力 0~500kPa
*大流量 差圧100kPaのとき500cc/分および3000cc/分の2種
応答時間 設定値到達まで1秒
入力信号 05VDC Cont/Close
R485
外部センサ入力 (420A 可)
出力信号 アラーム出力RS485.0~5VDC
継手 1/4〃VCR相当品
シートリーク 10-6Pa・m3/秒以下
精度 ±5kPa(800kPaFS時)
電源電圧 24VDC±10%
消費電流 200mA Max.
使用温度 0~50℃結露なきこと
面間外形寸法 W36×D46×H60mm
圧力センサ 有り(内蔵)
表示設定器 装備せず
主な用途 半導体用
対象ガス 半導体プロセスガス席食性ガス
入口圧力 500kPa以下
耐圧 1000kPa未満
圧力設定 コンピューター等から圧力設定入力必要
制御方式 比例ソレノイドパルプ制卸
制御圧力 0~500kPa
*大流量 差圧100kPaのとき500cc/分および3000cc/分の2種
応答時間 設定値到達まで1秒
入力信号 05VDC Cont/Close
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外部センサ入力 (420A 可)
出力信号 アラーム出力RS485.0~5VDC
継手 1/4〃VCR相当品
シートリーク 10-6Pa・m3/秒以下
精度 ±5kPa(800kPaFS時)
電源電圧 24VDC±10%
消費電流 200mA Max.
使用温度 0~50℃結露なきこと
面間外形寸法 W36×D46×H60mm
圧力センサ 有り(内蔵)
表示設定器 装備せず
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