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  • 产品名称：日本ACE排气压力控制器EPS-5100

  • 产品型号： EPS-5100
  • 产品厂商：ACE大流量计
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简单介绍：
主な用途 枚葉式洗浄装置のチャンバー圧力制御 クリーンドラフトチャンバーやクリーントラックのチャンバー圧力制御 排気ラインの圧力変動を受ける機器及びプロセス 液晶のエア・ナイフ槽の排気圧力コントロール クリーンブース内の排気圧力コントロール
详情介绍：

項　目 EPS-5200 EPS-5150 EPS-5100
接続パイプ口径 200A 150A 100A
流量範囲 （1次側） 0.5 ～ 15 Nm3/min 0.5 ～ 10 Nm3/min 0.3～ 5 Nm3/min
流量が*低流量に満たない場合には設定圧力に到達しない場合があります。
圧力損失 15 Nm3/min（Air）で50Pa 10 Nm3/min（Air）で20Pa以下 10 Nm3/min（Air）で20Pa以下
コントロールバルブ取合い 200A配管出し 150A配管出し 100A配管出し
調整圧力範囲 （1次側圧力） -50 ～ -999Pa （大気圧との差圧・2次側圧力に依存します）
2次側圧力（バルブ下流圧力） （制御圧力-50）Pa以下
差圧がこの数値より小さい場合、1次側調整範囲が狭くなります。
圧力精度 ±2% フルスケール 
制御リップル （定常制御時の変動） ±1% フルスケール （2次側圧力変動±10Pa以内）
耐圧 （1次側の圧力） 50kPa （大気圧との差圧） 以内
応答性 設定の98%に対し2秒以内 （Typical）
流体温度 10 ～ 50℃
本体環境温度 （精度保証温度） 15 ～ 35℃
電源電圧 24V  DC ± 10%
外部出力 圧力信号　：　1 ～ 5V DC
アラーム ： NPN ﾄﾗﾝｼﾞｽﾀｵｰﾌﾟﾝｺﾚｸﾀ  DC 30V < 100mA
コントローラ （CD-100） 現場設定もしくは外部設定切換え可能
外部設定信号 圧力設定信号 ： 4 ～ 20mA
バルブ ： 強制オープン、コントロール
（オプション） Control / Open （C/O） ： 24V  DC  ON/OFF
アラーム信号 圧力差異 （任意設定）
本体異常 （圧力ｺﾝﾄﾛｰﾗの異常も含む）
シリアル通信 RS485
供給Air （N2） 圧力 0.3±0.1MPaG
各ポート Φ6mm ワンタッチ（バルブ,電空部）
Φ4㎜ワンタッチ（圧力計測用）
バルブへの供給配管任意
接ガス材質 PVC,　バイトン,　EPDM
取り付け姿勢 自由
コントロール弁状態 電源OFF時、バルブ状態保持
パイプ径、流量・圧力等上記仕様外のご要望の場合は別途ご相談願います。
排気流量制御が必要な場合は型式DPFCシリーズを準備しております。別途ご相談願います。

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